一种防着板自动拆换机构制造技术

本发明专利技术公开了一种防着板自动拆换机构，包含升降板、升降机构、拆换板和横移机构；升降机构带动升降板升降，横移机构设置有移动座；拆换板具有安装部和拼接部，安装部安装固定在移动座上，拼接部用于与升降板拼接；所述升降板与拆换板拼接后，升降板和拆换板的前侧工作表面平滑连接，并使安装部与避让结构配合；所述升降板的前侧表面为光面，拆换板和延伸部的工作表面具有均匀分布的颗粒凸起结构；由于飞溅出的靶材大多沉积在防着板的中下部，因此，长时间使用后，只需要通过升降机构和横移机构动作，使升降板和拆换板分离，并将拆换板移出更换即可，不需要对防着板整体进行拆换清理，减少了材料的使用，降低了成本，节省了人力。

An automatic dismantling and replacing mechanism of the guard plate

The invention discloses an automatic disassembly mechanism for anti-collision board, which comprises a lifting board, a lifting mechanism, a disassembling board and a transverse shifting mechanism; a lifting mechanism drives the lifting board to lift and a transverse shifting mechanism is provided with a moving seat; a disassembling board has an installation part and a splicing part, and the installation part is fixed on a moving seat, and the splicing part is used for splicing with the lifting board; After splicing the lifting plate with the removal plate, the front working surface of the lifting plate and the removal plate is smoothly connected, and the installation part is matched with the avoidance structure; the front surface of the lifting plate is smooth, and the working surface of the removal plate and the extension part has a uniformly distributed particle convex structure; most of the target materials are deposited in the anti-splashing part. Therefore, after a long time of use, only through the lifting mechanism and transverse movement mechanism, the lifting board and the removal board can be separated, and the removal board can be replaced. It does not need to remove and clean the whole guard board, reducing the use of materials, reducing costs and saving labor.

【技术实现步骤摘要】
一种防着板自动拆换机构
本专利技术涉及一种防着板自动拆换机构。
技术介绍
真空溅镀是在真空环境下，使用物理的方式将材料源气化为气态分子、原子或离子，通过低压气体或离子体过程在基体表面沉积，使其具有某种特殊功能薄膜的技术；因溅镀过程中，溅镀源会随机方向溅射，除了在目标基体表面附着外，还有一部分会附着在周围其他部位的表面，为保护其他结构件避免附着、沉积膜层，需要使用防着板进行覆盖防护；现有的防着板大多为一体式结构，长时间使用后需要整体更换，并对换下的板材进行清理，增加了成本，并且降低了效率。
技术实现思路
针对上述存在的技术问题，本专利技术的目的是：提出了一种防着板自动拆换机构。本专利技术的技术解决方案是这样实现的：一种防着板自动拆换机构，包含升降板、升降机构、拆换板和横移机构；所述升降机构带动升降板升降，横移机构设置有移动座，横移机构带动移动座沿横向移动；所述拆换板具有安装部和拼接部，安装部安装固定在移动座上，拼接部用于与升降板拼接；所述升降板与拆换板拼接后，升降板和拆换板的前侧工作表面平滑连接，并使安装部与避让结构配合；所述升降板的前侧表面为光面，拆换板和延伸部的工作表面具有均匀分布的颗粒凸起结构。优选的，所述升降板和拼接部的工作表面为斜面或圆弧面，安装部的工作表面为水平面。优选的，所述颗粒凸起结构的截面形状呈梯形。由于上述技术方案的运用，本专利技术与现有技术相比具有下列优点：本专利技术的防着板自动拆换机构，由升降板、升降机构、拆换板和横移机构组成，由于飞溅出的靶材大多沉积在防着板的中下部，因此，长时间使用后，只需要通过升降机构和横移机构动作，使升降板和拆换板分离，并将拆换板移出更换即可，不需要对防着板整体进行拆换清理，减少了材料的使用，降低了成本，节省了人力。附图说明下面结合附图对本专利技术技术方案作进一步说明：附图1为本专利技术的一种防着板自动拆换机构的示意图；附图2为本专利技术的颗粒凸起结构的示意图。具体实施方式下面结合附图来说明本专利技术。如附图1-2所示，本专利技术所述的一种防着板自动拆换机构，用在真空溅镀设备中，其包含升降板11、升降机构12、拆换板和横移机构13；所述升降机构12带动升降板11升降，横移机构13设置有移动座14，横移机构13带动移动座14沿横向移动；所述拆换板具有安装部15和拼接部16，安装部15安装固定在移动座14上，拼接部16用于与升降板11拼接。工作时，先将横移机构13带动移动座14移动至机体外侧，将拆换板通过安装部15安装固定在移动座14上，控制升降机构12使升降板11上升一定高度，给拆换板让出行进的空间，随后横移机构13带动移动座14前移至行程终点，随后升降板11下降回原位，横移机构13再带动移动座14后退一点距离，使拼接部16与升降板11配合拼接成一个整体；反向进行上述过程，即可实现拆换板的自动移出。拼接后，升降板11和拼接部16的前侧工作表面平滑连接，工作表面可以为斜面或圆弧面，安装部15的上侧工作表面为水平面，以提高整体接受靶材溅射的范围；且升降板11的前侧表面为光面，并在拼接部16和安装部15的工作表面设置均匀分布的颗粒凸起结构21，使靶材主要附着在拼接部16和安装部15上，并增加承受面积，颗粒凸起结构21的截面形状可以设置为梯形。上述实施例只为说明本专利技术的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本专利技术的内容并加以实施，并不能以此限制本专利技术的保护范围，凡根据本专利技术精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本专利技术的保护范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种防着板自动拆换机构，其特征在于：包含升降板（11）、升降机构（12）、拆换板和横移机构（13）；所述升降机构（12）带动升降板（11）升降，横移机构（13）设置有移动座（14），横移机构（13）带动移动座（14）沿横向移动；所述拆换板具有安装部（15）和拼接部（16），安装部（15）安装固定在移动座（14）上，拼接部（16）用于与升降板（11）拼接；所述升降板（11）与拆换板拼接后，升降板（11）和拆换板（12）的前侧工作表面平滑连接，并使安装部（15）与避让结构（4）配合；所述升降板（11）的前侧表面为光面，拆换板（12）和延伸部（13）的工作表面具有均匀分布的颗粒凸起结构（21）。

【技术特征摘要】
1.一种防着板自动拆换机构，其特征在于：包含升降板（11）、升降机构（12）、拆换板和横移机构（13）；所述升降机构（12）带动升降板（11）升降，横移机构（13）设置有移动座（14），横移机构（13）带动移动座（14）沿横向移动；所述拆换板具有安装部（15）和拼接部（16），安装部（15）安装固定在移动座（14）上，拼接部（16）用于与升降板（11）拼接；所述升降板（11）与拆换板拼接后，升降板（11）和拆换板（12）...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙建忠，
申请(专利权)人：苏州康普雷森精密机械有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32