一种防着板自动换位组件制造技术

本发明专利技术公开了一种防着板自动换位组件，包含防着板、支撑架、旋转驱动机构、移动驱动机构、托板和升降驱动部件；防着板的上下两侧均设置有弯折部，两侧的弯折部相互对称，防着板连同弯折部的工作表面具有均匀分布的颗粒凸起结构；旋转驱动机构带动防着板转动，移动驱动机构带动支撑架横移；升降驱动部件带动托板升降，使其与下侧的弯折部配合；由于飞溅出的靶材大多沉积在防着板的中下部，因此，长时间使用后，旋转驱动机构可控制支撑架旋转换位，使防着板上下都可以较为均匀的接受靶材，减少防着板拆换清理的频率，从而降低了成本，节省了人力。

A kind of automatic shift unit for guard against plate

The invention discloses an automatic transposition component of a guard plate, which comprises a guard plate, a support frame, a rotating drive mechanism, a moving drive mechanism, a support plate and a lifting drive component. Particle convex structure; rotating drive mechanism drives the anti-collision plate to rotate, moving drive mechanism drives the support frame to move horizontally; lifting drive component drives the support plate to rise and fall to match with the bending part of the lower side; because most of the splashed targets are deposited in the middle and lower parts of the anti-collision plate, the rotating drive mechanism can be controlled after long-term use. The support frame is rotated and transposed so that the target material can be uniformly received from the upper and lower parts of the guard plate, thus reducing the frequency of the disassembly and cleaning of the guard plate, thereby reducing the cost and saving the manpower.

【技术实现步骤摘要】
一种防着板自动换位组件
本专利技术涉及一种防着板自动换位组件。
技术介绍
真空溅镀是在真空环境下，使用物理的方式将材料源气化为气态分子、原子或离子，通过低压气体或离子体过程在基体表面沉积，使其具有某种特殊功能薄膜的技术；因溅镀过程中，溅镀源会随机方向溅射，除了在目标基体表面附着外，还有一部分会附着在周围其他部位的表面，为保护其他结构件避免附着、沉积膜层，需要使用防着板进行覆盖防护；现有的防着板大多通过斜向设置，或加工成弧面来增加覆盖范围，但由于飞溅出的靶材大多沉积在防着板的中下部，并不能在防着板的整体均匀分布，使得防着板需要更换清理的频率较高，周期较短，增加了成本，浪费了人力。
技术实现思路
针对上述存在的技术问题，本专利技术的目的是：提出了一种防着板自动换位组件。本专利技术的技术解决方案是这样实现的：一种防着板自动换位组件，包含防着板、支撑架、旋转驱动机构、移动驱动机构、托板和升降驱动部件；所述防着板沿竖向设置，防着板的上下两侧均设置有弯折部，两侧的弯折部相互对称，防着板连同弯折部的工作表面具有均匀分布的颗粒凸起结构；所述防着板转动设置在支撑架上，支撑架滑动设置在移动驱动机构上，旋转驱动机构带动防着板转动，移动驱动机构带动支撑架横移；所述托板设置在防着板的下侧，升降驱动部件带动托板升降，使其与下侧的弯折部配合。优选的，所述弯折部上设置有锁定孔，托板上设置有与锁定孔配合的定位销。优选的，所述颗粒凸起结构的截面形状呈梯形。由于上述技术方案的运用，本专利技术与现有技术相比具有下列优点：本专利技术的防着板自动换位组件，由防着板、支撑架、旋转驱动机构、移动驱动机构、托板和升降驱动部件组成，防着板的上下两侧具有相互对称的弯折结构，由于飞溅出的靶材大多沉积在防着板的中下部，因此，长时间使用后，旋转驱动机构可控制支撑架旋转换位，使防着板上下都可以较为均匀的接受靶材，减少防着板拆换清理的频率，从而降低了成本，节省了人力。附图说明下面结合附图对本专利技术技术方案作进一步说明：附图1为本专利技术的一种防着板自动换位组件的示意图；附图2为本专利技术的颗粒凸起结构的示意图。具体实施方式下面结合附图来说明本专利技术。如附图1-2所示，本专利技术所述的一种防着板切换溅镀机构，主要用在真空溅镀设备中，其包含防着板11、支撑架12、旋转驱动机构15、移动驱动机构16、托板13和升降驱动部件17；所述防着板11沿竖向设置，防着板11的上下两侧均设置有弯折部14，弯折部14使防着板11的上下的内侧工作面形成折面或弧形面来接收靶材，上下两侧的弯折部14相互对称；所述防着板11转动设置在支撑架12上，支撑架12滑动设置在移动驱动机构16上，旋转驱动机构15带动防着板11转动，移动驱动机构16带动支撑架12横移；所述托板13设置在防着板11的下侧，升降驱动部件17带动托板13升降，使其与下侧的弯折部14配合，弯折部14上设置有锁定孔，托板13上设置有与锁定孔配合的定位销。其中，所述旋转驱动机构15可以为减速电机，移动驱动机构16可为电机丝杆组件，升降驱动部件17可为气缸；所述防着板11的竖直部分连同弯折部14的工作表面具有均匀分布的颗粒凸起结构21，颗粒凸起结构21的截面形状可以设置为梯形。当防着板11的中下部位覆盖一定的靶材之后，升降驱动部件17下降，使托板13上的定位销脱离弯折部14，旋转驱动机构15带动防着板11旋转180°，使其上下两侧换位，再升降驱动部件17上升锁定，使防着板11可额外增加一次工作周期。当防着板11整体需要拆卸更换时，升降驱动部件17解锁后，移动驱动机构16可带动支撑架12向外沿横向移出，便于工作人员进行拆卸。上述实施例只为说明本专利技术的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本专利技术的内容并加以实施，并不能以此限制本专利技术的保护范围，凡根据本专利技术精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本专利技术的保护范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种防着板自动换位组件，其特征在于：包含防着板（11）、支撑架（12）、旋转驱动机构（15）、移动驱动机构（16）、托板（13）和升降驱动部件（17）；所述防着板（11）沿竖向设置，防着板（11）的上下两侧均设置有弯折部（14），两侧的弯折部（14）相互对称，防着板（11）连同弯折部（14）的工作表面具有均匀分布的颗粒凸起结构（21）；所述防着板（11）转动设置在支撑架（12）上，支撑架（12）滑动设置在移动驱动机构（16）上，旋转驱动机构（15）带动防着板（11）转动，移动驱动机构（16）带动支撑架（12）横移；所述托板（13）设置在防着板（11）的下侧，升降驱动部件（17）带动托板（13）升降，使其与下侧的弯折部（14）配合。

【技术特征摘要】
1.一种防着板自动换位组件，其特征在于：包含防着板（11）、支撑架（12）、旋转驱动机构（15）、移动驱动机构（16）、托板（13）和升降驱动部件（17）；所述防着板（11）沿竖向设置，防着板（11）的上下两侧均设置有弯折部（14），两侧的弯折部（14）相互对称，防着板（11）连同弯折部（14）的工作表面具有均匀分布的颗粒凸起结构（21）；所述防着板（11）转动设置在支撑架（12）上，支撑架（12）滑动设置在移动驱动机构（16）上，...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙建忠，
申请(专利权)人：苏州康普雷森精密机械有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32