具有不规则表面平坦度的盖板玻璃的静电夹持制造技术

一种用于夹持玻璃的静电卡盘设备包括具有多个孔的基本上为刚性的底架，所述孔从底架的一侧延伸到底架的另一侧。多个静电卡盘销延伸通过开口并且弹性地安装于底架，使得静电卡盘销延伸通过底架的程度是单独可变的。采用该构造，无论是否存在一些玻璃的局部表面平坦度变化，静电卡盘销保持与玻璃的表面接触。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】具有不规则表面平坦度的盖板玻璃的静电夹持相关申请的交叉引用本申请根据35U.S.C.§119要求于2016年5月12日提交的系列号为62/335350的美国临时申请的优先权权益，本申请以该申请的内容为基础，并且通过引用的方式全文纳入本文。
技术介绍
本公开涉及对基本上为二维(平坦的或2D)盖板玻璃基材和/或基本上为三维(有时被称为弯曲的或3D)盖板玻璃基材进行夹持或夹紧的一般领域，例如以允许进行物理气相沉积，通过所述物理气相沉积向玻璃基材施加涂层或处理物。具体地，本公开涉及通过通常被称为静电夹持或简称为“ESC”的静电感应极化的方式所进行的这种夹持。正在开发具有处理物的手持式显示玻璃以满足市场需求，这些处理物包括抗微生物表面处理物和耐刮擦光学涂层。这种手持式显示器需要低的制造成本和快速交货，因此对于2D和3D盖板玻璃基材而言，用于生产高性能耐刮擦光学涂层的低成本、大批量制造工艺是期望的。这样的制造工艺包括真空涂覆工艺，其中，由于在整个工艺持续期间的颗粒动力学原因，基材达到了极高的温度(例如最高达230℃或者甚至是超过230℃)，这造成难以用常规技术(例如粘胶带)来夹紧基材。ESC是一种将具本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于夹持玻璃的静电卡盘设备，所述设备包括：具有多个孔的基本上为刚性的底架，所述孔从底架的一侧延伸到底架的另一侧；和多个静电卡盘销，其延伸通过所述多个孔的至少一部分并且弹性地安装于底架，使得静电卡盘销延伸通过底架的程度是能够单独变化的，由此，卡盘销顺应玻璃的表面的轮廓。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.05.12 US 62/335,3501.一种用于夹持玻璃的静电卡盘设备，所述设备包括：具有多个孔的基本上为刚性的底架，所述孔从底架的一侧延伸到底架的另一侧；和多个静电卡盘销，其延伸通过所述多个孔的至少一部分并且弹性地安装于底架，使得静电卡盘销延伸通过底架的程度是能够单独变化的，由此，卡盘销顺应玻璃的表面的轮廓。2.如权利要求1所述的静电卡盘设备，其中，玻璃的表面包含在约10μm至约100μm范围内的局部表面平坦度。3.如权利要求1或权利要求2所述的静电卡盘设备，其中，所述静电卡盘销弹簧安装于所述底架。4.如权利要求1-3中任一项所述的静电卡盘设备，其中，底架包括附接于刚性面板的弹性片，并且其中，静电卡盘销安装于所述弹性片。5.如权利要求4所述的静电卡盘设备，其还包括第二刚性面板，所述第二刚性面板附接于弹性片，使得弹...

【专利技术属性】
技术研发人员：D·R·鲍顿，J·G·法根，T·A·基布勒，
申请(专利权)人：康宁股份有限公司，
类型：发明
国别省市：美国,US