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一种用于夹持玻璃的静电卡盘设备包括具有多个孔的基本上为刚性的底架，所述孔从底架的一侧延伸到底架的另一侧。多个静电卡盘销延伸通过开口并且弹性地安装于底架，使得静电卡盘销延伸通过底架的程度是单独可变的。采用该构造，无论是否存在一些玻璃的局部表面...
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