温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型公开了一种无机配向膜制备装置，所公开的无机配向膜装置包括：含有内部形成真空条件的真空腔；将稳定沉积了被溅射物的托盘引入真空腔内或引出真空腔外的移送部；以及位于真空腔内的将溅射粒子按事先设定的角度喷射到被溅射物的一个面的溅射部件。本...该专利属于株式会社SELCOS;胜显（上海）商贸有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社SELCOS;胜显（上海）商贸有限公司授权不得商用。