下载一种防着板自动拆换溅镀机的技术资料

文档序号:19358743

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本发明公开了一种防着板自动拆换溅镀机,包含机架,机架内设有溅镀源、输送台和工作台,输送台的两侧设有防着板自动拆换组件,输送台下部设有避让结构;防着板自动拆换组件包含升降板、升降机构、拆换板和横移机构;升降机构带动升降板升降,横移机构设置有移...
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