【技术实现步骤摘要】
一种防着板切换溅镀机构
本专利技术涉及一种防着板切换溅镀机构。
技术介绍
真空溅镀是在真空环境下，使用物理的方式将材料源气化为气态分子、原子或离子，通过低压气体或离子体过程在基体表面沉积，使其具有某种特殊功能薄膜的技术；因溅镀过程中，溅镀源会随机方向溅射，除了在目标基体表面附着外，还有一部分会附着在周围其他部位的表面，为保护其他结构件避免附着、沉积膜层，需要使用防着板进行覆盖防护；现有的防着板大多通过斜向设置，或加工成弧面来增加覆盖范围，但由于飞溅出的靶材大多沉积在防着板的中下部，并不能在防着板的整体均匀分布，使得防着板需要更换清理的频率较高，周期较短，增加了成本，浪费了人力。
技术实现思路
针对上述存在的技术问题，本专利技术的目的是：提出了一种防着板切换溅镀机构。本专利技术的技术解决方案是这样实现的：一种防着板切换溅镀机构，包含机架，机架内设有溅镀源、输送台和工作台，工作台设置在输送台上，溅镀源设置在工作台的上方，输送台的两侧均设置有防着板组件；所述防着板组件包含防着板、旋转支架和托架；所述防着板沿竖向设置，防着板的上下两侧均设置有弯折部，两侧的弯折部相互对称；所述旋转支架水平设置，旋转支架与防着板的后侧配合；所述托架设置在防着板的下侧，托架与下侧的弯折部配合。优选的，所述托架上还设置有与弯折部配合的锁定部件。优选的，所述防着板连同弯折部的工作表面具有均匀分布的颗粒凸起结构。优选的，所述颗粒凸起结构的截面形状呈梯形。由于上述技术方案的运用，本专利技术与现有技术相比具有下列优点：本专利技术的防着板切换溅镀机构，其防着板组件由防着板、旋转支架和托架组成，防着板的...
【技术保护点】
1.一种防着板切换溅镀机构，包含机架，机架内设有溅镀源（1）、输送台（2）和工作台（3），工作台（3）设置在输送台（2）上，溅镀源（1）设置在工作台（3）的上方，输送台（2）的两侧均设置有防着板组件；其特征在于：所述防着板组件包含防着板（11）、旋转支架（12）和托架（13）；所述防着板（11）沿竖向设置，防着板（11）的上下两侧均设置有弯折部（14），两侧的弯折部（14）相互对称；所述旋转支架（12）水平设置，旋转支架（12）与防着板（11）的后侧配合；所述托架（13）设置在防着板（11）的下侧，托架（13）与下侧的弯折部（14）配合。
【技术特征摘要】
1.一种防着板切换溅镀机构，包含机架，机架内设有溅镀源（1）、输送台（2）和工作台（3），工作台（3）设置在输送台（2）上，溅镀源（1）设置在工作台（3）的上方，输送台（2）的两侧均设置有防着板组件；其特征在于：所述防着板组件包含防着板（11）、旋转支架（12）和托架（13）；所述防着板（11）沿竖向设置，防着板（11）的上下两侧均设置有弯折部（14），两侧的弯折部（14）相互对称；所述旋转支架（12）水平设置，旋转支架（12）与防着板（11...
【专利技术属性】
技术研发人员：孙建忠，
申请(专利权)人：苏州康普雷森精密机械有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32
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