【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜装置
本技术属于真空镀膜
，具体涉及一种真空镀膜装置。
技术介绍
近年来，随着市场经济的不断发展，真空镀膜技术和薄膜产业的发展已逐渐走向成熟，社会对功能性薄膜的需求日益增长，并得到广泛应用，像硫化锌薄膜这种重要的光电应用材料的研发和生产更为迫切。真空镀膜技术是真空领域里面重要的一个分支，真空镀膜主要是在真空腔室里面进行，真空腔室必须是密闭环境，先对真空室进行抽真空，达到一定真空度后进行镀膜。目前国内用于真空镀制硫化锌薄膜使用的真空镀膜装置，包括真空镀膜仓，真空镀膜仓内设有蒸发正电极、蒸发负电极和蒸发舟以及位于蒸发舟上方的镀膜辊，蒸发舟的两端连接蒸发正电极和蒸发负电极，蒸发舟内放置硫化锌固体，此时蒸发舟充当电阻的作用，接通蒸发电源，加热蒸发舟，使块状硫化锌迅速蒸发并沉积在包裹镀膜辊表面的镀膜基材上。但是，硫化锌在蒸发过程中，其分子的自由行程会发生相互碰撞，造成硫化锌在蒸发到膜面过程中不稳定，从而造成薄膜表面硫化锌的均匀性差，影响产品品质。专利双排全幅宽无间隔布局快速蒸发硫化锌镀膜设备(公告号CN202131365U)，公开了一种双排全幅宽无间隔布局...
【技术保护点】
1.一种真空镀膜装置，其特征在于，包括真空镀膜仓，所述真空镀膜仓内设有蒸发底板，所述蒸发底板设有若干蒸发正电极和若干蒸发负电极以及若干蒸发舟，一个所述蒸发正电极和一个所述蒸发负电极通过一个所述蒸发舟连接，所述蒸发底板上设有上端开口的围槽，所述围槽的开口处设有蒸发罩，所述围槽和所述蒸发罩之间形成容纳腔，所述蒸发正电极、所述蒸发负电极和所述蒸发舟均位于所述容纳腔内，位于所述容纳腔内的所述蒸发罩的一面垂直设有多个相互平行的第一挡板，所述第一挡板将所述蒸发罩分为多个蒸发区，一个所述蒸发区设有多个通孔，且其正下方设有一个所述蒸发舟。
【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜装置，其特征在于，包括真空镀膜仓，所述真空镀膜仓内设有蒸发底板，所述蒸发底板设有若干蒸发正电极和若干蒸发负电极以及若干蒸发舟，一个所述蒸发正电极和一个所述蒸发负电极通过一个所述蒸发舟连接，所述蒸发底板上设有上端开口的围槽，所述围槽的开口处设有蒸发罩，所述围槽和所述蒸发罩之间形成容纳腔，所述蒸发正电极、所述蒸发负电极和所述蒸发舟均位于所述容纳腔内，位于所述容纳腔内的所述蒸发罩的一面垂直设有多个相互平行的第一挡板，所述第一挡板将所述蒸发罩分为多个蒸发区，一个所述蒸发区设有多个通孔，且其正下方设有一个所述蒸发舟。2.根据权利要求1所述的真空镀膜装置，其特征在于，所述第一挡板的下端向下延伸与...
【专利技术属性】
技术研发人员：李军，
申请(专利权)人：合肥市辉耀真空材料有限责任公司，
类型：新型
国别省市：安徽,34
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。