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本实用新型提供一种真空镀膜装置,具体涉及真空镀膜技术领域,包括真空镀膜仓,真空镀膜仓内设有蒸发底板,蒸发底板设有若干蒸发正电极和若干蒸发负电极以及若干蒸发舟,一个蒸发正电极和一个蒸发负电极通过一个蒸发舟连接,蒸发底板上设有上端开口处设有蒸发...该专利属于合肥市辉耀真空材料有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过合肥市辉耀真空材料有限责任公司授权不得商用。
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本实用新型提供一种真空镀膜装置,具体涉及真空镀膜技术领域,包括真空镀膜仓,真空镀膜仓内设有蒸发底板,蒸发底板设有若干蒸发正电极和若干蒸发负电极以及若干蒸发舟,一个蒸发正电极和一个蒸发负电极通过一个蒸发舟连接,蒸发底板上设有上端开口处设有蒸发...