真空镀膜机制造技术

技术编号:12364769 阅读:82 留言:0更新日期:2015-11-23 07:42
本实用新型专利技术属于镀膜设备技术领域,尤其涉及一种真空镀膜机,包括镀膜腔,所述镀膜腔被隔板分成第一喷雾仓和第二喷雾仓,所述隔板上设置有可供样品通过的固定孔,所述样品具有若干个内部通道,且至少一个所述内部通道与所述样品的表面相通,所述第一喷雾仓连接有第一雾化杯和第一负压抽气管,所述第一负压抽气管连接有真空泵,所述第一雾化杯通过第一连接管与容置有镀膜液的容器连接;所述第二喷雾仓连接有第二雾化杯和第二负压抽气管,所述第二负压抽气管连接有真空泵,所述第二雾化杯通过第二连接管与容置有镀膜液的容器连接。相对于现有技术,本实用新型专利技术能够在样品内部均匀镀膜,并且节省药剂、镀膜效果好、镀膜效率高。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
真空镀膜机,其特征在于:包括镀膜腔,所述镀膜腔被隔板分成第一喷雾仓和第二喷雾仓,所述隔板上设置有可供样品通过的固定孔,所述样品具有若干个内部通道,且至少一个所述内部通道与所述样品的表面相通,所述第一喷雾仓连接有第一雾化杯和第一负压抽气管,所述第一负压抽气管连接有真空泵,所述第一雾化杯通过第一连接管与容置有镀膜液的容器连接;所述第二喷雾仓连接有第二雾化杯和第二负压抽气管,所述第二负压抽气管连接有真空泵,所述第二雾化杯通过第二连接管与容置有镀膜液的容器连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:姚飞钱锋李丙科孙丁群宋银海
申请(专利权)人:东莞帕萨电子装备有限公司
类型:新型
国别省市:广东;44

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