为了解决现有的真空镀膜机的蒸发舟结构较为复杂，且两端的电极较大，使得造价成本高，但是两端的电极均为薄片型，使得两端的电极的使用寿命不长，容易破损的问题，本实用新型专利技术提出一种真空镀膜机的蒸发舟，其采用第一挡板、第二挡板和基座配合起来用于固定镀膜载体，同时在蒸发舟的第一电极和第二电极上分别设有凹槽，这样，不但可以有效固定镀膜载体，同时该蒸发舟可以一次成型，结构简单。同时，由于第一电极和第二电极上的凹槽的结构，使得该蒸发舟的两个电极的强度提升了一倍以上，电极的使用寿命增加。
【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜机的蒸发舟
本技术属于机械
，具体的涉及到一种用于真空镀膜机的真空镀膜机的蒸发舟。
技术介绍
真空镀膜机是指在较高的真空度下对工件进行镀膜加工的设备。真空镀膜机包括蒸发源，现有的蒸发型真空镀膜机通常采用在蒸发舟两端接入电极作为蒸发源。现有技术中的蒸发周结构，例如，申请号为200720094316.7专利的
技术介绍
中记载的一种现有的蒸发舟的结构，在电极的中间有一个凹坑，就在这个凹坑中加上所要蒸发的材料，将其夹放在真空室的热蒸发电极上，真空室的真空度已达到所要蒸发的程度时，蒸发舟底部的材料先受热蒸发，在经过上层材料的过程中可能导致化学材料发生化学变化，影响材料的纯度。为了解决上述问题，申请号为200720094316.7的专利提出了一种改进的加热蒸发舟，该蒸发舟是由薄的耐高温金属片制成的、带有通气孔的加热片，加热片的中间均匀分布小孔，第二部分是带有挂槽的挂盒，在挂盒内部配备有耐高温、导热差的氧化铝陶瓷内衬“坩埚”，用挂槽将挂盒挂在加热片上即可。该加热蒸发舟通过使上层的材料先受热蒸发，进而减少材料蒸发过程中发生的化学变化，但是这样结构的加热蒸发舟还存在的问题在于：1、挂盒本身温度较低，在加热片上加热蒸发的材料有部分会在真空环境下扩散并附着在挂盒上，影响了材料的蒸发效果；2、挂盒和加热片需要不同材料分别加工，挂盒和加热片的结构比较复杂，加工成本较高。于是申请号为201320723278.2的专利提出了一种真空镀膜机的蒸发舟，其包括舟体和位于舟体两端的电极，舟体上具有辅助加热片，辅助加热片与舟体形成用于放置蒸发原料的容纳空间，加热片的底部部分或者全部与舟体相连，蒸发舟和辅助加热片采用导电材料制成。该真空镀膜机的蒸发舟虽然解决了以上问题，但是辅助的加热片为分体结构，结构较为复杂。且两端的电极较大，使得造价成本高，但是两端的电极均为薄片型，使得两端的电极的使用寿命不长，容易破损。
技术实现思路
为了解决以上问题，本技术提出一种真空镀膜机的蒸发舟，其采用第一挡板、第二挡板和基座配合起来用于固定镀膜载体，同时在蒸发舟的第一电极和第二电极上分别设有凹槽，这样，不但可以有效固定镀膜载体，同时该蒸发舟可以一次成型，结构简单。同时，由于第一电极和第二电极上的凹槽的结构，使得该蒸发舟的两个电极的强度提升了一倍以上，电极的使用寿命增加。一种真空镀膜机的蒸发舟，其包括：第一电极(1)、第二电极(2)、第一挡板(3)、基座(4)、第二挡板(5)、凹槽(6)，其特征在于：第一电极(1)和第二电极(2)的一端分别与两个平行的第二挡板(5)相连，第二挡板(5)与第一电极(1)和第二电极(2)分别互相垂直，两个平行的第二挡板(5)分别与基座(4)垂直连接，基座(4)分别与n型的第一挡板(3)垂直相连，第一电极(1)与第二电极(2)上均设有设有长方形凹槽(6)。进一步的，所述的真空镀膜机的蒸发舟采用高熔点的金属材料制成。更进一步优选的，所述的真空镀膜机的蒸发舟采用不锈钢、金属钨或者钛合金。进一步的，所述的第一电极(1)和第二电极(2)均为长方形，长度为50mm～80mm，宽度为3mm～5mm。进一步的，所述的第一电极(1)和第二电极(2)与第二挡板(5)垂直连接，且连接处采用圆形倒角。进一步的，所述的第一电极(1)上的长方形凹槽(6)的长度为25mm～35mm，宽度为1mm～3mm。进一步的，所述的第二挡板(2)为长方形金属片，其长度为7mm～10mm,宽度为3mm～5mm。进一步的，所述的n型的第一挡板(3)的连接角也采用圆角结构。本技术的真空镀膜机的蒸发舟的使用方式是：将蒸发舟定位在真空镀膜机中，并在第一电极(1)和第二电极(2)上分别接上电源的正极和负极，将待镀材料转移到镀膜载体中，镀膜载体为内部容纳铁丝绒的一端开口的金属壳体，将镀膜载体的开口端正对着第一挡板(3)，镀膜载体的开口端朝上。镀膜开始时，电源接通给蒸发舟两端的电极加电，第一挡板(3)、基座(4)和第二挡板(5)在电流作用下发热，镀膜材料受热蒸发，并朝着镀膜载体开口方向蒸发，并附载在温度较低的待镀膜工件上。由此可见，采用本技术的真空镀膜机的蒸发舟，该蒸发舟的结构不但可以有效固定镀膜载体，同时该蒸发舟可以一次成型，结构简单。同时，由于第一电极和第二电极上的凹槽的结构，使得该蒸发舟的两个电极的强度提升了一倍以上，电极的使用寿命增加。附图说明图1为本技术的真空镀膜机的蒸发舟的主视图。图2为本技术的真空镀膜机的蒸发舟的左视图。图3为本技术的真空镀膜机的蒸发舟的右视图。图4为本技术的真空镀膜机的蒸发舟的后视图。图5为本技术的真空镀膜机的蒸发舟的俯视图。图6为本技术的真空镀膜机的蒸发舟的仰视图。主要元件符号说明如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本技术。具体实施方式具体实施案例1：如图1所示为真空镀膜机的蒸发舟的主视图，如图2所示为真空镀膜机的蒸发舟的左视图，如图3所示为真空镀膜机的蒸发舟的右视图，如图4所示为真空镀膜机的蒸发舟的后视图，如图5所示为真空镀膜机的蒸发舟的俯视图，如图6所示为真空镀膜机的蒸发舟的仰视图，其包括：第一电极(1)、第二电极(2)、第一挡板(3)、基座(4)、第二挡板(5)、凹槽(6)，其特征在于：第一电极(1)和第二电极(2)的一端分别与两个平行的第二挡板(5)相连，第二挡板(5)与第一电极(1)和第二电极(2)分别互相垂直，两个平行的第二挡板(5)分别与基座(4)垂直连接，基座(4)分别与n型的第一挡板(3)垂直相连，第一电极(1)与第二电极(2)上均设有设有长方形凹槽(6)。所述的真空镀膜机的蒸发舟采用不锈钢的材质，所述的第一电极(1)和第二电极(2)均为长方形，长度为70mm，宽度为4mm。所述的第一电极(1)和第二电极(2)与第二挡板(5)垂直连接，且连接处采用圆形倒角。所述的第一电极(1)上的长方形凹槽(6)的长度为30mm，宽度为2mm。所述的第二挡板(2)为长方形金属片，其长度为8mm,宽度为4mm。所述的n型的第一挡板(3)的连接角也采用圆角结构。实施例1中的真空镀膜机的蒸发舟的使用方式是：将蒸发舟定位在真空镀膜机中，并在第一电极(1)和第二电极(2)上分别接上电源的正极和负极，将待镀材料转移到镀膜载体中，镀膜载体为内部容纳铁丝绒的一端开口的金属壳体，将镀膜载体的开口端正对着第一挡板(3)，镀膜载体的开口端朝上。镀膜开始时，电源接通给蒸发舟两端的电极加电，第一挡板(3)、基座(4)和第二挡板(5)在电流作用下发热，镀膜材料受热蒸发，并朝着镀膜载体开口方向蒸发，并附载在温度较低的待镀膜工件上。以上所述实施例仅表达了本技术的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本技术专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本技术构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本技术的保护范围。因此，本技术专利的保护范围应以所附权利要求为准。本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种真空镀膜机的蒸发舟，其包括：第一电极（1）、第二电极（2）、第一挡板（3）、基座（4）、第二挡板（5）、凹槽（6），其特征在于：第一电极（1）和第二电极（2）的一端分别与两个平行的第二挡板（5）相连，第二挡板（5）与第一电极（1）和第二电极（2）分别互相垂直，两个平行的第二挡板（5）分别与基座（4）垂直连接，基座（4）分别与n型的第一挡板（3）垂直相连，第一电极（1）与第二电极（2）上均设有设有长方形凹槽（6）。
【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜机的蒸发舟，其包括：第一电极（1）、第二电极（2）、第一挡板（3）、基座（4）、第二挡板（5）、凹槽（6），其特征在于：第一电极（1）和第二电极（2）的一端分别与两个平行的第二挡板（5）相连，第二挡板（5）与第一电极（1）和第二电极（2）分别互相垂直，两个平行的第二挡板（5）分别与基座（4）垂直连接，基座（4）分别与n型的第一挡板（3）垂直相连，第一电极（1）与第二电极（2）上均设有设有长方形凹槽（6）。2.如权利要求1所述的真空镀膜机的蒸发舟，其特征在于：所述的真空镀膜机的蒸发舟采用高熔点的金属材料制成。3.如权利要求1所述的真空镀膜机的蒸发舟，其特征在于：所述的真空镀膜机的蒸发舟采用不锈钢、金属钨或者钛合金。4.如权利要求1所...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈珂珩，
申请(专利权)人：苏州瑞康真空科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。