一种安装有弧源的真空镀膜机拼装门制造技术

本实用新型专利技术公开了真空镀膜机技术领域的一种安装有弧源的真空镀膜机拼装门，包括真空镀膜机、底座、冷却腔和闭合门，真空镀膜机的侧壁固定设置有转动套，转动套内腔套设有连接轴，连接轴与闭合门固定连接，闭合门的侧壁开设有拼装门槽，拼装门槽的内壁均设置有两组挡板，拼装门槽的内腔活动安装有拼装门，拼装门的内腔安装有弧源，拼装门的上下壁均开设有矩形槽，矩形槽内固定设置有卡块，本实用新型专利技术通过便于拼装门和闭合门的手动开启，拆卸时，可通过手动转动旋钮，通过上合板和下合板与卡块的配合，手动将拼装门拆卸下来，便于更换，弧源安装在拼装门上，可通过更换不同的拼装门，改变弧源的数量和位置，达到一机多用的效果，提高企业的效率。

【技术实现步骤摘要】
一种安装有弧源的真空镀膜机拼装门
本技术涉及真空镀膜机
，具体为一种安装有弧源的真空镀膜机拼装门。
技术介绍
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材，基片与靶材同在真空腔中，一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程形成薄膜，但是已有的镀膜设备，弧源是嵌入在机器上无法拆卸，一旦位置安装错误整个机器可能造成报废，而且由于是内嵌固定在镀膜机上，弧源的数量、位置都不能改变，无法达到一机多用的效果，大大提高了企业的经营成本，也降低生产的效率。因此我们对此做出改进，提出一种安装有弧源的真空镀膜机拼装门。基于此，本技术设计了一种安装有弧源的真空镀膜机拼装门，以解决上述问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种安装有弧源的真空镀膜机拼装门，以解决上述
技术介绍
中提出的通过成膜过程形成薄膜，但是已有的镀膜设备，弧源是嵌入在机器上无法拆卸，一旦位置安装错误整个机器可能造成报废，而且由于是内嵌固定在镀膜机上，弧源的数量、位置都不能改变，无法达到一机多用的效果，大大提高了企业的经营成本，也降低生产的效率的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种安装有弧源的真空镀膜机拼装门，包括真空镀膜机、底座、冷却腔和闭合门，所述真空镀膜机的侧壁固定设置有转动套，所述转动套内腔套设有连接轴，所述连接轴与闭合门固定连接，所述闭合门的侧壁开设有拼装门槽，所述拼装门槽的内壁均设置有两组挡板，所述拼装门槽的内腔活动安装有拼装门，所述拼装门的内腔安装有弧源，所述拼装门的上下壁均开设有矩形槽，所述矩形槽内固定设置有卡块，所述拼装门槽的上下壁开设有弧形槽，所述弧形槽内转动连接有活动轴，所述活动轴的外壁固定设置有上合板和下合板，所述上合板和下合板与卡块相互配合。优选的，所述活动轴贯穿闭合门的侧壁固定设置有旋钮。优选的，所述拼装门的外壁固定安装有第一把手。优选的，所述闭合门的侧壁固定安装第二把手。优选的，所述真空镀膜机与闭合门连接处设置有密封垫。与现有技术相比，本技术的有益效果是：本技术通过转动套和连接轴的配合，便于闭合门的开启的转动，通过在闭合门的侧壁开设有拼装门槽，安装拼装门，通过挡板的设置，起到给拼装门限位的作用，通过手动转动旋钮，通过旋钮带动活动轴的转动，通过活动轴带动上合板和下合板与矩形槽内腔的卡块配合，起到固定拼装门的位置，通过第一把手和第二把手的设置，便于拼装门和闭合门的手动开启，拆卸时，可通过手动转动旋钮，通过上合板和下合板与卡块的配合，手动将拼装门拆卸下来，便于更换，弧源安装在拼装门上，可通过更换不同的拼装门，改变弧源的数量和位置，达到一机多用的效果，提高企业的效率。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术主视角结构示意图；图2为本技术A视角局部放大结构示意图；图3为本技术闭合门结构示意图。附图中，各标号所代表的部件列表如下：1-真空镀膜机，2-底座，3-冷却腔，4-闭合门，5-转动套，6-连接轴，7-拼装门槽，8-挡板，9-拼装门，10-弧源，11-矩形槽，12-卡块，13-弧形槽，14-活动轴，15-上合板，16-下合板，17-旋钮，18-第一把手，19-第二把手。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-3，本技术提供一种技术方案：一种安装有弧源的真空镀膜机拼装门，包括真空镀膜机1、底座2、冷却腔3和闭合门4，真空镀膜机1的侧壁固定设置有转动套5，转动套5内腔套设有连接轴6，连接轴6与闭合门4固定连接，闭合门4的侧壁开设有拼装门槽7，拼装门槽7的内壁均设置有两组挡板8，拼装门槽7的内腔活动安装有拼装门9，拼装门9的内腔安装有弧源10，拼装门9的上下壁均开设有矩形槽11，矩形槽11内固定设置有卡块12，拼装门槽7的上下壁开设有弧形槽13，弧形槽13内转动连接有活动轴14，活动轴14的外壁固定设置有上合板15和下合板16，上合板15和下合板16与卡块12相互配合。其中，活动轴14贯穿闭合门4的侧壁固定设置有旋钮17，拼装门9的外壁固定安装有第一把手18，闭合门4的侧壁固定安装第二把手19，真空镀膜机1与闭合门4连接处设置有密封垫。本实施例的一个具体应用为：本技术通过转动套5和连接轴6的配合，便于闭合门4的开启的转动，通过在闭合门4的侧壁开设有拼装门槽7，安装拼装门9，通过挡板8的设置，起到给拼装门9限位的作用，通过手动转动旋钮17，通过旋钮17带动活动轴14的转动，通过活动轴14带动上合板15和下合板16与矩形槽11内腔的卡块12配合，起到固定拼装门9的位置，通过第一把手18和第二把手19的设置，便于拼装门9和闭合门4的手动开启，拆卸时，可通过手动转动旋钮17，通过上合板15和下合板16与卡块12的配合，手动将拼装门9拆卸下来，便于更换，弧源安装在拼装门9上，可通过更换不同的拼装门9，改变弧源的数量和位置，达到一机多用的效果，提高企业的效率。在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本技术的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。以上公开的本技术优选实施例只是用于帮助阐述本技术。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该技术仅为所述的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本技术的原理和实际应用，从而使所属
技术人员能很好地理解和利用本技术。本技术仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种安装有弧源的真空镀膜机拼装门，包括真空镀膜机(1)、底座(2)、冷却腔(3)和闭合门(4)，其特征在于：所述真空镀膜机(1)的侧壁固定设置有转动套(5)，所述转动套(5)内腔套设有连接轴(6)，所述连接轴(6)与闭合门(4)固定连接，所述闭合门(4)的侧壁开设有拼装门槽(7)，所述拼装门槽(7)的内壁均设置有两组挡板(8)，所述拼装门槽(7)的内腔活动安装有拼装门(9)，所述拼装门(9)的内腔安装有弧源(10)，所述拼装门(9)的上下壁均开设有矩形槽(11)，所述矩形槽(11)内固定设置有卡块(12)，所述拼装门槽(7)的上下壁开设有弧形槽(13)，所述弧形槽(13)内转动连接有活动轴(14)，所述活动轴(14)的外壁固定设置有上合板(15)和下合板(16)，所述上合板(15)和下合板(16)与卡块(12)相互配合。

【技术特征摘要】
1.一种安装有弧源的真空镀膜机拼装门，包括真空镀膜机(1)、底座(2)、冷却腔(3)和闭合门(4)，其特征在于：所述真空镀膜机(1)的侧壁固定设置有转动套(5)，所述转动套(5)内腔套设有连接轴(6)，所述连接轴(6)与闭合门(4)固定连接，所述闭合门(4)的侧壁开设有拼装门槽(7)，所述拼装门槽(7)的内壁均设置有两组挡板(8)，所述拼装门槽(7)的内腔活动安装有拼装门(9)，所述拼装门(9)的内腔安装有弧源(10)，所述拼装门(9)的上下壁均开设有矩形槽(11)，所述矩形槽(11)内固定设置有卡块(12)，所述拼装门槽(7)的上下壁开设有弧形槽(13)，所述弧形槽(13)内转动连接有活动轴(14)，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：柳一民，王静辉，
申请(专利权)人：桑尼光电技术安徽有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽,34