【技术实现步骤摘要】
一种薄片状半导体零件夹取装置
本专利技术是一种薄片状半导体零件夹取装置,属于薄型零件夹紧
技术介绍
半导体零件是一种精度要求极高的精密部件,特别是薄片状的半导体零件,薄片状的半导体零件的生产加工过程中,从一个工序移动到另一个工序的运输阶段也丝毫马虎不得,这其中,用于夹取薄片状的半导体零件的夹取装置尤为关键。现有技术中,夹取装置往往通用性差,当薄片状的半导体零件的尺寸发生变化时,无法很好的找准重心进行抓取,偏心抓取可能造成薄片状的半导体零件的远端因重力作用产生过大的变形,从而影响半导体零件的质量。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足,本专利技术目的是提供一种薄片状半导体零件夹取装置,以满足薄片状半导体零件的精准及稳定的夹取要求。为了实现上述目的,本专利技术是通过如下的技术方案来实现:一种薄片状半导体零件夹取装置,包括横向滑动块、横向螺杆、横向导杆、横向滑座、第一电机、第一滑动支板、第二滑动支板、夹紧装置及工作台,所述夹紧装置连接于横向滑动块的下端表面,所述横向滑座呈横向贯穿于横向滑动块,所述横向螺杆、横向导杆均连接于横向滑座的上端表面上,所述横向滑座的左右两端分别与第二滑动支板、第一滑动支板连接,所述第一电机的一端呈横向贯穿第一滑动支板并与横向滑座嵌套连接,工作台的左右两侧分别对称的设有第三电机、纵向螺杆及纵向导杆,第三电机的输出轴与纵向螺杆固定连接,纵向螺杆与纵向导杆平行设置,第二滑动支板与第一滑动支板朝向工作台的一侧分别设有第二纵向滑动块和第一纵向滑动块,第二纵向滑动块与工作台左侧的纵向螺杆螺接,且与工作台左侧的纵向导杆滑动连接,第一纵向滑动块与 ...
【技术保护点】
1.一种薄片状半导体零件夹取装置,包括横向滑动块(1)、横向螺杆(2)、横向导杆(3)、横向滑座(4)、第一电机(5)、第一滑动支板(6)、第二滑动支板(7)、夹紧装置(8)及工作台(9),其特征在于:所述夹紧装置(8)连接于横向滑动块(1)的下端表面,所述横向滑座(4)呈横向贯穿于横向滑动块(1),所述横向螺杆(2)、横向导杆(3)均连接于横向滑座(4)的上端表面上,所述横向滑座(4)的左右两端分别与第二滑动支板(7)、第一滑动支板(6)连接,所述第一电机(5)的一端呈横向贯穿第一滑动支板(6)并与横向滑座(4)嵌套连接,工作台(9)的左右两侧分别对称的设有第三电机(10)、纵向螺杆(11)及纵向导杆(12),第三电机(10)的输出轴与纵向螺杆(11)固定连接,纵向螺杆(11)与纵向导杆(12)平行设置,第二滑动支板(7)与第一滑动支板(6)朝向工作台(9)的一侧分别设有第二纵向滑动块(701)和第一纵向滑动块,第二纵向滑动块(701)与工作台(9)左侧的纵向螺杆(11)螺接,且与工作台(9)左侧的纵向导杆(12)滑动连接,第一纵向滑动块与工作台(9)右侧的纵向螺杆(11)螺接,且与 ...
【技术特征摘要】
1.一种薄片状半导体零件夹取装置,包括横向滑动块(1)、横向螺杆(2)、横向导杆(3)、横向滑座(4)、第一电机(5)、第一滑动支板(6)、第二滑动支板(7)、夹紧装置(8)及工作台(9),其特征在于:所述夹紧装置(8)连接于横向滑动块(1)的下端表面,所述横向滑座(4)呈横向贯穿于横向滑动块(1),所述横向螺杆(2)、横向导杆(3)均连接于横向滑座(4)的上端表面上,所述横向滑座(4)的左右两端分别与第二滑动支板(7)、第一滑动支板(6)连接,所述第一电机(5)的一端呈横向贯穿第一滑动支板(6)并与横向滑座(4)嵌套连接,工作台(9)的左右两侧分别对称的设有第三电机(10)、纵向螺杆(11)及纵向导杆(12),第三电机(10)的输出轴与纵向螺杆(11)固定连接,纵向螺杆(11)与纵向导杆(12)平行设置,第二滑动支板(7)与第一滑动支板(6)朝向工作台(9)的一侧分别设有第二纵向滑动块(701)和第一纵向滑动块,第二纵向滑动块(701)与工作台(9)左侧的纵向螺杆(11)螺接,且与工作台(9)左侧的纵向导杆(12)滑动连接,第一纵向滑动块与工作台(9)右侧的纵向螺杆(11)螺接,且与工作台(9)右侧的纵向导杆(12)滑动连接,工作台(9)的承载面上设有多个均匀布置的感应点位(901),还包括单片机,夹紧装置(8)、第一电机(5)、第三电机(10)及感应点位(901)分别与单片机电性连接;所述夹紧装置(8)由电机驱动机构(801)、连接皮带(802)、多级驱动机构(803)、气压泵开关控制机构(804)、气压泵(805)、夹取机构(806)、导气机构(807)及夹紧装置外壳体(808)组成,所述夹紧装置外壳体(808)连接于横向滑动块(1)的下端表面,所述夹紧装置外壳体(808)内表面的一侧设有电机驱动机构(801),所述多级驱动机构(803)通过连接皮带(802)连接于电机驱动机构(801)的另一端,所述夹取机构(806)的上端表面与多级驱动机构(803)一端的下表面相焊接,所述导气机构(807)的上端表面与多级驱动机构(803)另一端的下表面活动连接,所述多级驱动机构(803)另一端的上表面与气压泵开关控制机构(804)活动连接,所述气压泵(805)通过气压泵开关控制机构(804)与导气机构(807)连接。2.根据权利要求1所述的一种薄片状半导体零件夹取装置,其特征在于:所述电机驱动机构(801)由第二电机(80101)、第一传动伞齿轮(80102)、固定支板(80103)、传动齿轮盘(80104)、第二传动伞齿轮(80105)、第一连接横板(80106)、转动杆(80107)、活动转辊(80108)、第二连接横板(80109)、活动转辊传动座(80110)、一号传动齿轮(80111)组成,所述固定支板(80103)焊接于夹紧装置外壳体(808)内表面的一侧,所述固定支板(80103)的上端表面设有第二电机(80101),所述第二电机(80101)的一端与第一传动伞齿轮(80102)嵌套连接,所述传动齿轮盘(80104)的另一端连接有第一传动伞齿轮(80102),所述第二传动伞齿轮(80105)连接于传动齿轮盘(80104)的上端表面,所述转动杆(80107)的下端表面呈纵向贯穿于第一连接横板(80106)并与第二传动伞齿轮(80105)嵌套连接,所述转动杆(80107)的上端表面呈纵向贯穿于活动转辊(80108)并与第二连接横板(80109)嵌套连接,所述活动转辊(80108)的另一端焊接有活动转辊传动座(80110),所述活动转辊传动座(80110)的另一端与一号传动齿轮(80111)的一端相啮合,所述一号传动齿轮(80111)通过连接皮带(802)连接于多级驱动机构(803)的一端。3.根据权利要求1或2所述的一种薄片状半导体零件夹取装置,其特征在于:所述多级驱动机构(803)由固定卡座(80301)、固定卡销(80302)、纵向滑动卡板(80303)、纵向运动架(80304)、二号传动齿轮(80305)、一号传动带(80306)、一号活动转盘(80307)、二号传动带(80308)、二号活动转盘(80309)、三号传动齿轮(80310)、间歇式传动轮(80311)、三号传动带(80312)组成,所述二号传动齿轮(80305)通过连接皮带(802)连接于电机驱动机构(801)的另一端,所述二号传动齿轮(80305)的外表面与纵向运动架(80304)的内表面相啮合,所述纵向运动架(80304)的上端表面焊接有纵向滑动卡板(80303),所述固定卡座(80301)通过固定卡销(80302)与纵向滑动卡板(80303)活动连接,所述固定卡销(80302)焊接于固定卡座(80301)的前端表面上,所述二号活动转盘(80309)通过一号传动带(80306)连接于二号传动齿轮(80305)的另一端,所述二号传动带(80308)的上下两端分别与二号活动转盘(80309)、一号活动转盘(80307)连接,所述二号活动转盘(80309)胶接于三号传动齿轮(80310)的前端表面上,所述三号传动齿轮(80310)的上端表面活动连接有...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈明珠,吴娟,胡子诺,
申请(专利权)人:安徽工程大学,
类型:发明
国别省市:安徽,34
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