【技术实现步骤摘要】
电机驱动型硅片除尘托架
本技术涉及一种电机驱动型硅片除尘托架。
技术介绍
硅片是制作集成电路的重要材料，通过对硅片进行光刻、离子注入等手段，可以制成各种半导体器件。用硅片制成的芯片有着惊人的运算能力。科学技术的发展不断推动着半导体的发展。自动化和计算机等技术发展，使硅片（集成电路）这种高技术产品的造价已降到十分低廉的程度。这使得硅片已广泛应用于航空航天、工业、农业和国防，甚至悄悄进入每一个家庭。硅片多为片状，为了保证集成电路的品质硅片制作多在无尘的环境下进行，但是不可避免由于作业疏忽会污染硅片表面。目前去除硅片表面灰尘的做法是使用气枪吹洗硅片表面，但是作业人员手持硅片容易对硅片表面造成二次污染。
技术实现思路
本技术主要是解决现有技术所存在的技术问题，从而提供一种电机驱动型硅片除尘托架。本技术的上述技术问题主要是通过下述技术方案得以解决的：一种电机驱动型硅片除尘托架，包含一支架，所述支架的底部设有多个支撑脚，所述支架的顶部设有一第一导轨和一第二导轨，所述第一导轨和第二导轨相互平行，所述第一导轨和第二导轨上活动连接一滑板，所述滑板可在第一导轨和第二导轨上自由滑动，所述支架上可转动地设有一驱动杆，所述驱动杆由一驱动电机驱动转动，所述驱动杆的杆体布满外螺纹，所述驱动杆和滑板间通过螺纹连接驱动，所述滑板的上表面设有一转盘，所述转盘上固定连接一第一支撑体和一第二支撑体，所述第一支撑体和第二支撑体间设有一转轴，所述转轴由一电机驱动旋转，所述转轴上固定连接一托盘，所述托盘上设有多个固定插孔。作为本技术较佳的实施例，所述的转盘、第一支撑体和第二支撑体一体成型。作为本技术较佳的实施...
【技术保护点】
1.一种电机驱动型硅片除尘托架，其特征在于，包含一支架（2），所述支架（2）的底部设有多个支撑脚（3），所述支架（2）的顶部设有一第一导轨（4）和一第二导轨（5），所述第一导轨（4）和第二导轨（5）相互平行，所述第一导轨（4）和第二导轨（5）上活动连接一滑板（6），所述滑板（6）可在第一导轨（4）和第二导轨（5）上自由滑动，所述支架（2）上可转动地设有一驱动杆（7），所述驱动杆（7）由一驱动电机（8）驱动转动，所述驱动杆（7）的杆体布满外螺纹，所述驱动杆（7）和滑板（6）间通过螺纹连接驱动，所述滑板（6）的上表面设有一转盘（9），所述转盘（9）上固定连接一第一支撑体（10）和一第二支撑体（11），所述第一支撑体（10）和第二支撑体（11）间设有一转轴（12），所述转轴（12）由一电机（13）驱动旋转，所述转轴（12）上固定连接一托盘（14），所述托盘（14）上设有多个固定插孔（15）。
【技术特征摘要】
1.一种电机驱动型硅片除尘托架，其特征在于，包含一支架（2），所述支架（2）的底部设有多个支撑脚（3），所述支架（2）的顶部设有一第一导轨（4）和一第二导轨（5），所述第一导轨（4）和第二导轨（5）相互平行，所述第一导轨（4）和第二导轨（5）上活动连接一滑板（6），所述滑板（6）可在第一导轨（4）和第二导轨（5）上自由滑动，所述支架（2）上可转动地设有一驱动杆（7），所述驱动杆（7）由一驱动电机（8）驱动转动，所述驱动杆（7）的杆体布满外螺纹，所述驱动杆（7）和滑板（6）间通过螺纹连接驱动，所述滑板（6...
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