一种晶圆便捷式修边载具制造技术

本实用新型专利技术涉及一种晶圆便捷式修边载具，包括圆形底板，圆形底板中部开有第一圆孔，围绕着第一圆孔均匀布置有若干个第二圆孔，圆形底板侧壁围绕着圆周依次间隔布置有弧形定位块、平边定位块和弧形定位块，平边定位块靠近圆形底板中部的端面为竖直面，平边定位块的两端设置有圆形底板边缘形状相配的弧形延伸部，弧形定位块与圆形底板侧壁相连的面为圆弧面，圆弧面与圆形底板的侧壁形状相配。本实用方便了修边工艺且大大降低了作业成本，将圆片Wafer(晶圆)放置于中心位置经过边缘曝光的方式使边缘一圈光刻胶硬化难以去除，同时保证胶面完好平整，解决后续电镀金属(或者合金)凸点出现高低不平的问题。

A Convenient Edge-trimming Vehicle for Wafer

The utility model relates to a convenient wafer trimming tool, which comprises a circular bottom plate with a first circular hole in the middle, a number of second circular holes arranged uniformly around the first circular hole, and an arc positioning block, a flat positioning block and an arc positioning block arranged sequentially around the circumference of the side wall of the circular bottom plate, and a flat positioning block. The end face of the block near the middle part of the circular bottom plate is a vertical plane, and the two ends of the flat side positioning block are provided with arc extensions matching the edge shape of the circular bottom plate. The surface connecting the arc positioning block with the side wall of the circular bottom plate is a circular arc surface, and the arc surface matches the side wall shape of the circular bottom plate. The utility model facilitates the edge trimming process and greatly reduces the operation cost. The wafer (wafer) is placed in the center position and exposed at the edge, which makes the hardening of the edge photoresist difficult to remove, and ensures the smooth surface of the photoresist, so as to solve the problem of unevenness of the subsequent plating metal (or alloy) bumps.

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆便捷式修边载具
本技术涉及晶圆
，特别是涉及一种晶圆便捷式修边载具。
技术介绍
目前光刻胶自动涂覆曝光作业完成后，圆片边缘一圈无效区域会有开口被开出，对后续的电镀工艺造成一定的影响。为避免无效区域开口开出，减少电镀工艺造成的损失，需要重新手动进行修边处理，增加一定的作业难度且延长时间成本。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种晶圆便捷式修边载具，方便了修边工艺且大大降低了作业成本，将圆片Wafer(晶圆)放置于中心位置经过边缘曝光的方式使边缘一圈光刻胶硬化难以去除，同时保证胶面完好平整，解决后续电镀金属(或者合金)凸点出现高低不平的问题；避免Wafer手动定位精度差的问题。第一圆孔、第二圆孔属于真空孔，提高作业过程中的Wafer位置的稳定性。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：提供一种晶圆便捷式修边载具，包括圆形底板，所述的圆形底板中部开有第一圆孔，围绕着第一圆孔均匀布置有若干个第二圆孔，所述的圆形底板侧壁围绕着圆周依次间隔布置有弧形定位块、平边定位块和弧形定位块，该平边定位块靠近圆形底板中部的端面为竖直面，所述的平边定位块的两端设置有圆形底板边缘形状相配的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆便捷式修边载具，包括圆形底板(5)，其特征在于：所述的圆形底板(5)中部开有第一圆孔(4)，围绕着第一圆孔(4)均匀布置有若干个第二圆孔(2)，所述的圆形底板(5)侧壁围绕着圆周依次间隔布置有弧形定位块(1)、平边定位块(3)和弧形定位块(1)，该平边定位块(3)靠近圆形底板(5)中部的端面为竖直面(6)，所述的平边定位块(3)的两端设置有圆形底板(5)边缘形状相配的弧形延伸部(7)，所述的弧形定位块(1)与圆形底板(5)侧壁相连的面为圆弧面，该圆弧面与圆形底板(5)的侧壁形状相配。

【技术特征摘要】
1.一种晶圆便捷式修边载具，包括圆形底板(5)，其特征在于：所述的圆形底板(5)中部开有第一圆孔(4)，围绕着第一圆孔(4)均匀布置有若干个第二圆孔(2)，所述的圆形底板(5)侧壁围绕着圆周依次间隔布置有弧形定位块(1)、平边定位块(3)和弧形定位块(1)，该平边定位块(3)靠近圆形底板(5)中部的端面为竖直面(6)，所述的平边定位块(3)的两端设置有圆形底板(5)边缘形状相配的弧形延伸部(7)，所述的弧形定位块(1)与圆形底板(5...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈楚杰，汪洋，沈桂军，许城城，赵亚东，于政，
申请(专利权)人：宁波芯健半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江,33