下载一种晶圆便捷式修边载具的技术资料

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本实用新型涉及一种晶圆便捷式修边载具,包括圆形底板,圆形底板中部开有第一圆孔,围绕着第一圆孔均匀布置有若干个第二圆孔,圆形底板侧壁围绕着圆周依次间隔布置有弧形定位块、平边定位块和弧形定位块,平边定位块靠近圆形底板中部的端面为竖直面,平边定位...
该专利属于宁波芯健半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过宁波芯健半导体有限公司授权不得商用。

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