一种新型蒸发镀膜治具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种新型蒸发镀膜治具，安装在镀膜机真空腔体内部上方，其包括轨道、连接件、回转装置和四个镀锅；轨道通过连接件悬挂安装在镀膜机真空腔体内上部；回转装置设置在轨道上，回转装置包括驱动机构、回转圆环、四个轮子和四个手臂，驱动机构位于回转圆环上方且驱动回转圆环水平旋转，四个手臂平均分布在回转圆环上，手臂上端通过螺栓与回转圆环连接固定，手臂下端设置有轮子；四个镀锅分别通过回转轴安装在四个轮子上，轮子回转时带动镀锅旋转；四个手臂中有一个手臂为可动自适应的调节手臂，其余三个手臂为固定手臂。通过上述方式，本实用新型专利技术能够在不增加真空镀膜设备腔体尺寸的条件下，大大增加单次产量、提高生产效率。

【技术实现步骤摘要】
一种新型蒸发镀膜治具
本技术涉及真空镀膜设备领域，特别是涉及一种新型蒸发镀膜治具。
技术介绍
工业上常用真空镀膜设备进行蒸发镀膜，以完成基板表面所需要沉积的膜层。真空蒸发镀膜需要一定的真空条件和蒸发条件，蒸发镀膜技术在物理气相沉积技术中发展较早，且真空蒸发镀膜设备与工艺相对比较简单，即可沉积非常纯净的膜层，又可制备具有特定结构和性质的膜层，所以真空镀膜设备在半导体、功率器件、LED等行业中被广泛使用。目前，在真空镀膜设备中装载基板的镀膜治具普遍采用的是三个镀锅。采用该种镀膜治具的真空镀膜设备的单次产量不高。在国家倡导节能减排的背景下，如何有效的提高单次产量是我们研究的方向。专利号为CN205662594U的一种新型的镀膜治具，锥形的治具装样板上均匀地分布着一定大小的材料放置孔，治具装样板的四周安装有向外侧形成一定夹角的挡板，锥形的治具装样板顶角上有向上的连接杆Ⅰ，连接杆Ⅰ的上端固定有夹板，夹板与夹具夹件间通过螺栓可拆卸，夹具夹件通过连接杆Ⅱ可与真空镀膜设备腔体紧固相连。该镀膜治具可以在不改变真空镀膜治具腔体体积的情况下，尽可能多的进行多件材料的同时镀膜；并且通过安装挡板，尽量使得蒸发的待镀膜料汇聚在材料的下方面，减少甚至避免待镀材料的污染，提高产品质量；虽然该镀膜治具可以尽可能的进行多件材料的同时镀膜，但实际提高的单次产量不明显。专利号为CN204198846U的一种可自转公转的仿行星式镀膜治具，镀膜治具安装在镀膜机腔内部上方，镀膜治具主要包括治具本体、公转系统和自转系统，治具本体包括三个治具盘，治具盘为伞形，伞形治具盘中部的尖端处设置有连接柱；该可自转公转的仿行星式镀膜治具利用行星运动的原理，根据行星自转和公转的运动规律使治具盘在镀膜机腔内实现独立自转并整体公转的效果，可以达到镀膜时产品表面的保护膜层均匀沉积的目的，且不仅镀膜产品的主体部分可均匀镀膜，镀膜产品的边缘及棱角亦可达到最佳的镀膜效果，实现整体镀膜的均匀性；但其并不能提高基板的单次产量。所以，为解决上述问题需要设计出一种可以明显提高单次产量的新型蒸发镀膜治具。
技术实现思路
本技术主要解决的技术问题是提供一种新型蒸发镀膜治具，能够在不增加真空镀膜设备腔体尺寸的条件下，通过改变镀锅的数量以及对应回转治具的结构，从而大大增加单次产量、提高生产效率。为解决上述技术问题，本技术采用的一个技术方案是：提供一种新型蒸发镀膜治具，安装在镀膜机真空腔体内部上方，其包括：轨道、连接件、回转装置和四个镀锅；所述轨道通过所述连接件悬挂安装在镀膜机真空腔体内上部；所述回转装置设置在所述轨道上，回转装置包括驱动机构、回转圆环、四个轮子和四个手臂，驱动机构位于回转圆环上方且驱动回转圆环水平旋转，四个手臂平均分布在回转圆环上，手臂上端与回转圆环连接，手臂下端设置有轮子；四个镀锅分别通过回转轴安装在四个轮子上，轮子回转时带动镀锅旋转；所述四个手臂中有一个手臂为可动自适应的调节手臂，其余三个手臂为固定手臂，调节手臂上端与所述回转圆环可调连接，固定手臂上端与回转圆环固定连接。优选的，所述回转圆环上表面设置有固定块，所述调节手臂的上端部通过销子与固定块可动连接，销子穿过调节手臂与固定块；所述调节手臂与所述回转圆环之间留有空隙，调节手臂与回转圆环之间还通过设有弹簧的螺栓压紧连接，弹簧上端抵在螺栓的螺帽上，弹簧下端抵在所述调节手臂上。优选的，所述销子上插有扣销，扣销位于固定块和调节手臂之间。优选的，所述弹簧上设有两个垫片，一个垫片位于弹簧与螺帽之间，另一个垫片位于弹簧与调节手臂之间。优选的，所述螺栓有两个，两个螺栓垂直于销子的轴线。优选的，所述回转圆环上对应所述调节手臂的局部位置呈直线型。优选的，所述固定手臂位于所述回转圆环的下方。优选的，所述固定手臂通过螺丝固定在所述回转圆环上。优选的，所述连接件包括两根横杆和四根竖杆，两根横杆固定在所述镀膜机真空腔体内上表面，四根竖杆垂直于所述轨道，竖杆上端与横杆固定连接，竖杆下端与轨道固定连接；每根横杆上对应固定有两根竖杆。本技术的有益效果是：本技术能够在不增加真空镀膜设备腔体尺寸的条件下，通过改变镀锅的数量以及对应回转治具的结构，从而大大增加单次产量、提高生产效率，促进节能减排；在回转时不会因为不平衡而发生卡死或掉落的情况。附图说明图1是本技术一种新型蒸发镀膜治具的简化原理结构示意图；图2是图1的局部放大图A。附图中各部件的标记如下：1、镀膜机真空腔体；2、驱动机构；3、镀锅；4、回转轴；5、回转圆环；6、轨道；7、固定手臂；8、调节手臂；81、固定块；82、销子；83、扣销；84、螺栓；85、弹簧；86、垫片；9、轮子；10、连接件。具体实施方式下面结合附图对本技术的较佳实施例进行详细阐述，以使本技术的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本技术的保护范围做出更为清楚明确的界定。请参阅图1和图2，本技术实施例包括：一种新型蒸发镀膜治具，安装在镀膜机真空腔体1内部上方，其包括：轨道6、连接件10、回转装置和四个镀锅3；所述轨道6通过所述连接件10悬挂安装在镀膜机真空腔体1内上部；所述连接件10包括两根横杆和四根竖杆，两根横杆固定在所述镀膜机真空腔体1内上表面，四根竖杆垂直于所述轨道6，竖杆上端与横杆固定连接，竖杆下端与轨道6固定连接；每根横杆上对应固定有两根竖杆。四根竖杆可以对应四点支撑。所述回转装置设置在所述轨道6上，回转装置包括驱动机构2、回转圆环5、四个轮子9和四个手臂，驱动机构2位于回转圆环5上方且驱动回转圆环5水平旋转，四个手臂平均分布在回转圆环5上，手臂上端与回转圆环5连接，手臂下端分别设置有轮子9；四个镀锅3分别通过回转轴4安装在四个轮子9上，轮子9回转时带动镀锅3旋转；回转轴4主要是将镀锅3通过轮子9安装在手臂上，因为轨道6相对3个镀锅的轨道加大了尺寸，镀锅3的固定角度也发生了变化，所以为了能够使镀锅3依然连接在轨道6上，设置了回转轴4，回转轴4用来安装镀锅3的。所述四个手臂中有一个手臂为可动自适应的调节手臂8，其余三个手臂为固定手臂7，调节手臂8上端与所述回转圆环5可调连接，固定手臂7上端与回转圆环5固定连接。如果四个手臂都采用固定拧紧的方式，由于轨道6上四点回转的不平衡原因，会产生回转时卡死的情况导致无法生产；所以将其中一个手臂设置为调节手臂8，在回转时遇到阻力等情况，可以进行自适应调节，从而保证回转顺畅。所述回转圆环5上表面上固定有固定块81，所述调节手臂8的上端部通过销子82与固定块81可转动连接，销子82穿过调节手臂8与固定块81；所述调节手臂8与所述回转圆环5之间留有空隙，该空隙为调节适应的空间；所述调节手臂8与回转圆环5之间还通过设有弹簧85的螺栓84压紧连接；弹簧85套设在螺栓84上，弹簧85上端抵在螺栓84的螺帽上，弹簧85下端抵在所述调节手臂8上。调节手臂8在自重和弹簧85的作用下，可以保持相对固定；在弹簧85的作用下，调节手臂8遇到阻力时可以自适应调节，以达到顺畅回转的目的。所述销子82上插有扣销83，扣销83位于固定块81和调节手臂8之间，扣销83可以避免销子82在使用中因为震动等情况滑脱，保证结构的稳定性。所述弹簧上设有两个垫片86，两个本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种新型蒸发镀膜治具，安装在镀膜机真空腔体内部上方，其特征在于，包括：轨道、连接件、回转装置和四个镀锅；所述轨道通过所述连接件悬挂安装在镀膜机真空腔体内上部；所述回转装置设置在所述轨道上，回转装置包括驱动机构、回转圆环、四个轮子和四个手臂，驱动机构位于回转圆环上方且驱动回转圆环水平旋转，四个手臂平均分布在回转圆环上，手臂上端与回转圆环连接，手臂下端设置有轮子；四个镀锅分别通过回转轴安装在四个轮子上，轮子回转时带动镀锅旋转；所述四个手臂中有一个手臂为可动自适应的调节手臂，其余三个手臂为固定手臂，调节手臂上端与所述回转圆环可调连接，固定手臂上端与回转圆环固定连接。

【技术特征摘要】
1.一种新型蒸发镀膜治具，安装在镀膜机真空腔体内部上方，其特征在于，包括：轨道、连接件、回转装置和四个镀锅；所述轨道通过所述连接件悬挂安装在镀膜机真空腔体内上部；所述回转装置设置在所述轨道上，回转装置包括驱动机构、回转圆环、四个轮子和四个手臂，驱动机构位于回转圆环上方且驱动回转圆环水平旋转，四个手臂平均分布在回转圆环上，手臂上端与回转圆环连接，手臂下端设置有轮子；四个镀锅分别通过回转轴安装在四个轮子上，轮子回转时带动镀锅旋转；所述四个手臂中有一个手臂为可动自适应的调节手臂，其余三个手臂为固定手臂，调节手臂上端与所述回转圆环可调连接，固定手臂上端与回转圆环固定连接。2.根据权利要求1所述的一种新型蒸发镀膜治具，其特征在于：所述回转圆环上表面设置有固定块，所述调节手臂的上端部通过销子与固定块可动连接，销子穿过调节手臂与固定块；所述调节手臂与所述回转圆环之间留有空隙，调节手臂与回转圆环之间还通过设有弹簧的螺栓压紧连接，弹簧上端抵在螺栓的螺帽上，弹簧下端抵在所述调节手臂上。3.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：钱军，
申请(专利权)人：爱发科真空技术苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32