【技术实现步骤摘要】
一种PVD真空离子镀膜机
本技术涉及镀膜机
，尤其涉及一种PVD真空离子镀膜机。
技术介绍
随着科技水平的提高，电镀已经无法满足人们的需求。取而代之的真空离子镀技术越来越受到人们的欢迎，随着真空离子镀技术的不断发展，真空离子镀的市场也越来越大。那么传统真空离子镀膜机内的工件托架已经无法满足需求。传统的托架结构复杂而且悬挂的零件少，镀膜效率低。而且传统的托架只能围绕中心转轴旋转，经常出现零件镀膜厚度不均匀的现象，严重影响真空离子镀层的质量。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中存在PVD真空镀膜机镀膜不均匀的缺点，而提出的一种PVD真空离子镀膜机。为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：设计一种PVD真空离子镀膜机，包括机壳，所述机壳的一侧设置有密封门，所述机壳的另一侧设置有抽气泵，所述机壳的顶部设置有电机，所述机壳的内腔设置有转动支架，所述转动支架上垂直设有连接轴，所述连接轴通过联轴器与电机的动力轴连接，所述转动支架上开设有一对放置槽，所述转动支架的顶部转动连接有一对第二卡槽，所述转动支架的底部转动连接有第一卡槽，所述第一卡槽上固定连接转轴，所述转轴远离第一卡槽的一端固定连接转动齿轮，所述机壳的内腔底部垂直设有立柱，所述立柱的顶部固定连接有与转动齿轮相互啮合的固定齿轮，所述机壳的内壁固定安装有等离子弧源。优选的，所述转动支架的侧壁开设有插槽，所述插槽的底部转动设有滚轮。优选的，所述第一卡槽、第二卡槽均为U型，并且U型内腔均设置有弧形弹片。本技术提出的一种PVD真空离子镀膜机，有益效果在于：通过设置第一卡槽、第二卡槽、固定齿轮和转动齿轮，电机带动...
【技术保护点】
1.一种PVD真空离子镀膜机，包括机壳(1)，所述机壳(1)的一侧设置有密封门(2)，所述机壳(1)的另一侧设置有抽气泵(15)，其特征在于，所述机壳(1)的顶部设置有电机(5)，所述机壳(1)的内腔设置有转动支架(4)，所述转动支架(4)上垂直设有连接轴(14)，所述连接轴(14)通过联轴器与电机(5)的动力轴连接，所述转动支架(4)上开设有一对放置槽(8)，所述转动支架(4)的顶部转动连接有一对第二卡槽(7)，所述转动支架(4)的底部转动连接有第一卡槽(6)，所述第一卡槽(6)上固定连接转轴(16)，所述转轴(16)远离第一卡槽(6)的一端固定连接转动齿轮(11)，所述机壳(1)的内腔底部垂直设有立柱(9)，所述立柱(9)的顶部固定连接有与转动齿轮(11)相互啮合的固定齿轮(10)，所述机壳(1)的内壁固定安装有等离子弧源(3)。
【技术特征摘要】
1.一种PVD真空离子镀膜机，包括机壳(1)，所述机壳(1)的一侧设置有密封门(2)，所述机壳(1)的另一侧设置有抽气泵(15)，其特征在于，所述机壳(1)的顶部设置有电机(5)，所述机壳(1)的内腔设置有转动支架(4)，所述转动支架(4)上垂直设有连接轴(14)，所述连接轴(14)通过联轴器与电机(5)的动力轴连接，所述转动支架(4)上开设有一对放置槽(8)，所述转动支架(4)的顶部转动连接有一对第二卡槽(7)，所述转动支架(4)的底部转动连接有第一卡槽(6)，所述第一卡槽(6)上固定连接转轴(16)，所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄正勇，周文忠，黄国辉，黄建朝，吴迪，
申请(专利权)人：东莞市宝钛涂层科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。