一种同心双轴控制三维旋转及定位旋转可变的旋转机构制造技术

本实用新型专利技术公开一种同心双轴控制三维旋转及定位旋转可变的旋转机构，包括同心双轴设置并由轴承支撑旋转的公转轴和自转轴，公转轴和自转轴分别与公转盘和自转盘咬合，公转盘的底端周向均布有多个自转轮，自转轴依次通过传动轮和传动链与自转轮连接，公转盘顶端与自转轮对应设置有用于放置待处理工件的自转盘，公转盘上有多个拨片，使自转盘上的工件产生第三维度旋转。本实用新型专利技术的旋转机构，摒弃传统单轴带动全盘旋转模式，将公转和自转分开控制，若大规模生产时，公自转电机分别控制转速，转速比可调；若小批量生产时，可停止公转电机，定位旋转自转轴。该旋转机构可节省成本，并减少硬切换给正常生产带来的延误，也保证了样品的质量稳定。

【技术实现步骤摘要】
一种同心双轴控制三维旋转及定位旋转可变的旋转机构
本技术涉及PVD镀膜和均匀涂覆处理
，特别是涉及一种同心双轴控制三维旋转及定位旋转可变的旋转机构。
技术介绍
在PVD镀膜进行大规模工业生产时，一般都是需要公自转同时进行，甚至三维转动模式来保证镀膜的均匀性，另外喷涂领域，或者需要接受均匀清洗的自动清洗线也需要保证均匀处理。常规情况下是需要公自转或三维旋转的，但经常会出现需要小批量生产或者给客户制备样品，这时公自转的形式就不再适合，因为高纯靶材或者其他功能部件的造价昂贵，在为客户小批量生产试制时，将设备靶材或耗材全部打开，会产生大量的浪费和电力消耗，并且时间也较长，通常工厂会希望采用停止公转，将单轴自转盘定位旋转，这样直接面对镀膜部件进行镀膜或接受处理，但结束该批生产后又必须马上恢复成为公自转或三维旋转的模式进行正常生产。但工厂现行的该类装置一般都需要硬切换，即把公自转的机械部件进行拆除或者重新调整部件的位置，亦或者直接使用两套转架系统，这不仅增加了人力成本，也耽误了正常生产计划。不适合工厂的快速生产的模式。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种同心双轴控制三维旋转及定位旋转可变的旋转机本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种同心双轴控制三维旋转及定位旋转可变的旋转机构，其特征在于：包括同心双轴设置并由轴承支撑旋转的公转轴和自转轴，所述公转轴和自转轴分别与公转盘和自转盘咬合，所述公转盘的底端周向均布有多个自转轮，所述自转轴依次通过传动轮和传动链与所述自转轮连接，所述公转盘的顶端与所述自转轮对应设置有用于放置待处理样品的自转盘，所述公转盘上设置有多个拨片，所述拨片用于拨动所述自转盘上的工件齿轮产生第三维度旋转。

【技术特征摘要】
1.一种同心双轴控制三维旋转及定位旋转可变的旋转机构，其特征在于：包括同心双轴设置并由轴承支撑旋转的公转轴和自转轴，所述公转轴和自转轴分别与公转盘和自转盘咬合，所述公转盘的底端周向均布有多个自转轮，所述自转轴依次通过传动轮和传动链与所述自转轮连接，所述公转盘的顶端与所述自转轮对应设置有用于放置待处理样品的自转盘，所述公转盘上设置有多个拨片，所述拨片用于拨动所述自转盘上的工件齿轮产生第三维度旋转。2.根据权利要求1所述的同心双轴控制三维旋转及定位旋转可变的旋转机构，其特征在于：所述公转轴和自转轴分别连接有公转电机和自转电机。3.根据权利要求1所述的同心双轴控制三维旋转及定位旋转可变的旋转机构，其特征在于：所述公转轴和自转轴共同连接有一电机。4.根据权利要求1所述的同心双轴控制三维旋转及定位旋转可变的旋转机构，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡小刚，董闯，吴爱民，李冬梅，陈大民，谷伟，
申请(专利权)人：大连理工大学，
类型：新型
国别省市：辽宁,21