一种同心双轴控制三维旋转及定位旋转可变的旋转机构制造技术

本实用新型专利技术公开一种同心双轴控制三维旋转及定位旋转可变的旋转机构，包括同心双轴设置并由轴承支撑旋转的公转轴和自转轴，公转轴和自转轴分别与公转盘和自转盘咬合，公转盘的底端周向均布有多个自转轮，自转轴依次通过传动轮和传动链与自转轮连接，公转盘顶端与自转轮对应设置有用于放置待处理工件的自转盘，公转盘上有多个拨片，使自转盘上的工件产生第三维度旋转。本实用新型专利技术的旋转机构，摒弃传统单轴带动全盘旋转模式，将公转和自转分开控制，若大规模生产时，公自转电机分别控制转速，转速比可调；若小批量生产时，可停止公转电机，定位旋转自转轴。该旋转机构可节省成本，并减少硬切换给正常生产带来的延误，也保证了样品的质量稳定。

【技术实现步骤摘要】
一种同心双轴控制三维旋转及定位旋转可变的旋转机构
本技术涉及PVD镀膜和均匀涂覆处理
，特别是涉及一种同心双轴控制三维旋转及定位旋转可变的旋转机构。
技术介绍
在PVD镀膜进行大规模工业生产时，一般都是需要公自转同时进行，甚至三维转动模式来保证镀膜的均匀性，另外喷涂领域，或者需要接受均匀清洗的自动清洗线也需要保证均匀处理。常规情况下是需要公自转或三维旋转的，但经常会出现需要小批量生产或者给客户制备样品，这时公自转的形式就不再适合，因为高纯靶材或者其他功能部件的造价昂贵，在为客户小批量生产试制时，将设备靶材或耗材全部打开，会产生大量的浪费和电力消耗，并且时间也较长，通常工厂会希望采用停止公转，将单轴自转盘定位旋转，这样直接面对镀膜部件进行镀膜或接受处理，但结束该批生产后又必须马上恢复成为公自转或三维旋转的模式进行正常生产。但工厂现行的该类装置一般都需要硬切换，即把公自转的机械部件进行拆除或者重新调整部件的位置，亦或者直接使用两套转架系统，这不仅增加了人力成本，也耽误了正常生产计划。不适合工厂的快速生产的模式。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种同心双轴控制三维旋转及定位旋转可变的旋转机构，以解决上述现有技术存在的问题，采用同心双轴分别控制公转和自转的旋转装置，可以将传统的公转带动自转的一体式公自转形式改善，使得公转与自动分别受控，即具备软切换的能力。为实现上述目的，本技术提供了如下方案：本技术提供一种同心双轴控制三维旋转及定位旋转可变的旋转机构，包括同心双轴设置并由轴承支撑旋转的公转轴和自转轴，所述公转轴和自转轴分别与公转盘和自转盘咬合，所述公转盘的底端周向均布有多个自转轮，所述自转轴依次通过传动轮和传动链与所述自转轮连接，所述公转盘的顶端与所述自转轮对应设置有用于放置待处理样品的自转盘，所述公转盘上设置有多个拨片，所述拨片用于拨动所述自转盘上的工件齿轮产生第三维度转动。可选的，所述公转轴和自转轴分别连接有公转电机和自转电机。可选的，所述公转轴和自转轴共同连接有一电机。可选的，所述公转轴和自转轴同心复合安装并通过轴承固定在缸套内坐实在所述缸套底部，所述自转轴同轴套设在所述自转轴的外围。可选的，所述传动轮为链轮，所述传动链为链条。可选的，所述传动轮为齿轮，所述传动链为传动齿轮。可选的，在真空的生产条件下，所述轴承与同心双轴设置的所述自转轴和公转轴之间设置有骨架油封。可选的，所述自转轴与所述骨架油封之间、所述骨架油封与所述轴承之间、所述同心双轴设置的自转轴和公转轴的输入端以及所述轴承上均安装有密封圈。本技术相对于现有技术取得了以下技术效果：本技术的同心双轴控制三维旋转及定位旋转可变的旋转机构，摒弃了传统单轴带动全盘旋转的模式，将公转和自转分开控制，若大规模生产时，公自转电机分别控制转速即可，转速比可调；若进行小批量制样，可停止公转，将挂有样品的自转轴停止定位在开启镀膜功能组件的部位，接受涂覆镀膜等，甚至可以在局部某角度区域进行公自转和三维转动，接受多功能组件的涂覆，制备完成后也不需要硬切换恢复，耽误正常的生产计划。该旋转机构节省了涂覆的资源成本，以及硬切换带来的人力成本，并且减少了硬切换给正常生产计划带来的耽误，也保证了样品的质量稳定。该旋转机构的造价与常规转轴系统造价接近，适合工厂采用，也适合高校实验室、研究所。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术同心双轴控制三维旋转及定位旋转可变的旋转机构的结构示意图；图2为本技术同心双轴控制三维旋转及定位旋转可变的旋转机构的公转盘的俯视图；其中，1公转电机；2自转电机；3轴承；4链条；5拨片；6工件齿轮；7自转轮；8骨架油封；9链轮；10公转盘；11自转盘；12密封圈；13公转轴；14自转轴；15镀膜功能组件。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。本技术的目的是提供一种同心双轴控制三维旋转及定位旋转可变的旋转机构，以解决上述现有技术存在的问题，采用同心双轴分别控制公转和自转的旋转装置，可以将传统的公转带动自转的一体式公自转形式改善，使得公转与自动分别受控，即具备软切换的能力。本技术提供的同心双轴控制三维旋转及定位旋转可变的旋转机构，包括同心双轴设置并由轴承支撑旋转的公转轴和自转轴，公转轴和自转轴分别与公转盘和自转盘咬合，公转盘的底端周向均布有多个自转轮，自转轴依次通过传动轮和传动链与自转轮连接，公转盘的顶端与自转轮对应设置有用于放置待处理样品的自转盘，公转盘上设置有多个拨片，拨片用于拨动自转盘上的工件齿轮转动。将公转和自转分开控制，若大规模生产时，公自转电机分别控制转速即可，转速比可调；若进行小批量制样，可停止公转，将挂有样品的自转轴停止定位在开启镀膜功能组件的部位，接受涂覆镀膜等。为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本技术作进一步详细的说明。请参考图1-2，其中，图1本技术同心双轴控制三维旋转及定位旋转可变的旋转机构的结构示意图；图2为本技术同心双轴控制三维旋转及定位旋转可变的旋转机构的公转盘的俯视图。如图1-2所示，本技术提供一种同心双轴控制三维旋转及定位旋转可变的旋转机构，包括同心双轴设置并由轴承支撑旋转的公转轴13和自转轴14，公转轴13和自转轴14分别与公转盘10和自转盘11咬合，公转盘10的底端周向均布有多个自转轮7，自转轴14依次通过传动轮和传动链与自转轮7连接，公转盘10的顶端与自转轮7对应设置有用于放置待处理样品的自转盘11，公转盘10上设置有多个拨片5，拨片5用于拨动自转盘11上的工件齿轮6转动。同心双轴系统：公转电机1和自转电机2，同时分别控制着公转轴13和自转轴14；由轴承3负责支撑旋转的公转轴13和自转轴14为同心双轴设计，分别控制公转盘10和行星式自转盘11的转动。公转轴13与公转盘10咬合，可以在公转电机1带动下进行公转；齿轮或链轮9在自转轴14的带动下，通过链条4或传动齿轮来带动各个自转轮7，从而使得各自转轴14均可自转。而公转盘10上分列多个自转盘11，可放置不同数量的待镀或待处理的样品，公转盘10上设计有多个拨片5，可以将自转盘11上的工件齿轮6拨动，从而实现三维转动，接收来自镀膜功能组件15的涂覆。另外，该转架机构设计了真空条件下的密封系统，通过两套骨架油封8分别负责公转轴13和自转轴14的密封，另搭配密封圈12进行真空的保证，真空保证，需要密封圈12和骨架油封8防止腔室内真空下降，如果是非真空环境，亦可忽略。公转轴13和自转轴14分别由公转电机1和自转电机2驱动，实现公自转分别控制，亦可采用一个总电机，节省成本。同心双轴采用公本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种同心双轴控制三维旋转及定位旋转可变的旋转机构，其特征在于：包括同心双轴设置并由轴承支撑旋转的公转轴和自转轴，所述公转轴和自转轴分别与公转盘和自转盘咬合，所述公转盘的底端周向均布有多个自转轮，所述自转轴依次通过传动轮和传动链与所述自转轮连接，所述公转盘的顶端与所述自转轮对应设置有用于放置待处理样品的自转盘，所述公转盘上设置有多个拨片，所述拨片用于拨动所述自转盘上的工件齿轮产生第三维度旋转。

【技术特征摘要】
1.一种同心双轴控制三维旋转及定位旋转可变的旋转机构，其特征在于：包括同心双轴设置并由轴承支撑旋转的公转轴和自转轴，所述公转轴和自转轴分别与公转盘和自转盘咬合，所述公转盘的底端周向均布有多个自转轮，所述自转轴依次通过传动轮和传动链与所述自转轮连接，所述公转盘的顶端与所述自转轮对应设置有用于放置待处理样品的自转盘，所述公转盘上设置有多个拨片，所述拨片用于拨动所述自转盘上的工件齿轮产生第三维度旋转。2.根据权利要求1所述的同心双轴控制三维旋转及定位旋转可变的旋转机构，其特征在于：所述公转轴和自转轴分别连接有公转电机和自转电机。3.根据权利要求1所述的同心双轴控制三维旋转及定位旋转可变的旋转机构，其特征在于：所述公转轴和自转轴共同连接有一电机。4.根据权利要求1所述的同心双轴控制三维旋转及定位旋转可变的旋转机构，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡小刚，董闯，吴爱民，李冬梅，陈大民，谷伟，
申请(专利权)人：大连理工大学，
类型：新型
国别省市：辽宁,21