一种小型化腔体及蒸发台设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种小型化腔体及蒸发台设备，包括：第一腔体；第二腔体，所述第二腔体设置于所述第一腔体底部中心处；其中，所述第二腔体与所述第二腔体相互连通，且，所述第二腔体的体积小于所述第一腔体的体积；还包括衬底载体与蒸发源；所述衬底载体设置于所述第一腔体内侧顶部，所述蒸发源设置于所述第二腔体内侧底部。本实用新型专利技术第一腔体与第二腔体相互配合，蒸发的气体依次经过第二腔体、第一腔体以接力的方式呈球面状向外扩散，来满足扩散尺寸的要求，使得所需真空腔体尺寸规格有效减小，设备内部容积大幅度降低，从而使得真空泵抽气能力要求有效降低，抽气所需时间及破真空所需时间大幅度减小，设备制作成本大幅度降低。低。低。

【技术实现步骤摘要】
一种小型化腔体及蒸发台设备


[0001]本技术涉及蒸发台
，特别涉及一种小型化腔体及蒸发台设备。

技术介绍

[0002]在蒸发台设备中，蒸发源被加热蒸发，蒸发的气体呈球面状向外扩散。气体扩散到衬底表面时凝结，一段时间后凝结颗粒长大连接形成一层薄膜。衬底被装附在呈球面的载体上，一般来说，衬底载体与蒸发源之间距离越大，衬底上生成的膜厚均匀性越好，衬底载体与蒸发源之间距离越小，衬底上生成膜厚均匀性越差。而衬底载体与蒸发源之间距离越大要求蒸发环境设备的腔体体积越大，腔体体积越大，腔体制作成本越高。

技术实现思路

[0003]基于此，有必要提供一种用于蒸发台设备的小型化腔体，真空腔体尺寸规格有效减小，设备制作成本大幅度降低。
[0004]本技术公开一种小型化腔体及蒸发台设备，包括：
[0005]第一腔体；
[0006]第二腔体，所述第二腔体设置于所述第一腔体底部中心处；
[0007]其中，所述第二腔体与所述第二腔体相互连通，且，所述第二腔体的体积小于所述第一腔体的体积。
[0008]本技术还提供一种蒸发台设备，包括上述小型化腔体。
[0009]在一些实施例中，还包括衬底载体与蒸发源；所述衬底载体设置于所述第一腔体内侧顶部，所述蒸发源设置于所述第二腔体内侧底部。
[0010]在一些实施例中，所述衬底载体与蒸发源位于同一中心线上。
[0011]实施本技术的一种用于蒸发台设备的小型化腔体至少具有以下有益效果：
[0012]第一腔体与第二腔体相互配合，蒸发的气体依次经过第二腔体、第一腔体以接力的方式呈球面状向外扩散，来满足扩散尺寸的要求，使得所需真空腔体尺寸规格有效减小，设备内部容积大幅度降低，从而使得真空泵抽气能力要求有效降低，抽气所需时间及破真空所需时间大幅度减小，设备制作成本大幅度降低。
附图说明
[0013]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。
[0014]图1为本技术小型化腔体结构示意图；
[0015]图2为本技术小型化腔体工作示意图；
[0016]图3为现有技术中蒸发台设备腔体工作示意图。
[0017]图中：01
‑
衬底载体，02
‑
第一腔体，03
‑
蒸发源，04
‑
设备架台，05
‑
第二腔体。
[0018]本技术目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0020]需要说明，本技术实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后
……
)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。
[0021]另外，在本技术中涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，全文中的“和/或”包括三个方案，以A和/或B为例，包括A技术方案、B技术方案，以及A和B同时满足的技术方案；另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本技术要求的保护范围之内。
[0022]如图1所示，一种用于蒸发台设备的小型化腔体，用于微电子，半导体，光学膜等制作，整台设备通过设备架台04支撑。该种小型化腔体具有相互连通的第一腔体02第二腔体05，第二腔体05外置于第一腔体02底部，其中，第二腔体05的体积小于第一腔体02的体积，以便蒸发的气体在腔体内呈球面状向外接力扩散；
[0023]具体应用中，衬底载体01被装附在呈球面的载体上，在蒸发源03与衬底载体01之间距离要求一定时，结构设计上将蒸发源03下沉，在第一腔体02底部设计一个外置第二腔体05。平面结构上，蒸发源03是以扇形结构向上蒸发分布的，设计第二腔体05时，第二腔体05上部开口需避开蒸发源03蒸发路径，蒸发的气体通过第一腔体02和第二腔体05接力的方式，来满足蒸发尺寸的要求。这种情况下，第一腔体02尺寸规格有效减小，设备内部容积大幅度降低；真空泵抽气能力要求有效降低，抽气所需时间及破真空所需时间大幅度减小，设备制作成本大幅度降低。设备要求空间高度有效降低等优势，从而解决腔体制作成本高，占用空间大，真空抽气时间长等问题。
[0024]如图3所示，现有技术蒸发台设备中，蒸发源加热成为气体，向上扩散，经过SS的距离后在衬底载体上的衬底上附着，附着颗粒结晶并长大，长大到一定程度后，结晶颗粒相互连接在衬底上形成一层薄膜。工艺条件要求后，真空腔体受SS要求的影响，高度尺寸H2有必须满足相应的要求。随着工艺条件要求的升级，SS越来越大，真空腔体H2高度越来越大，设备制作成本越来越高。如图2所示，与现有技术相比，本技术的蒸发台设备中，蒸发源被加热蒸发，蒸发的气体呈球面状向外扩散。气体扩散到衬底表面时凝结，一段时间后凝结颗粒长大连接形成一层薄膜。衬底被装附在呈球面的载体上，在蒸发源与衬底之间距离SS要求一定时，结构设计上将蒸发源下沉，在第一腔体底部设计一个第二腔体。平面结构上，蒸发源是以扇形结构向上蒸发分布的，设计第二腔体时，第二腔体上部开口需避开蒸发源蒸
发路径，蒸发的气体通过第一腔体和第二腔体接力的方式，来满足SS尺寸的要求。这种情况下，第一腔体尺寸规格有效减小，设备内部容积大幅度降低。真空泵抽气能力要求有效降低，抽气所需时间及破真空所需时间大幅度减小，设备制作成本大幅度降低。设备要求空间高度有效降低等优势。
[0025]以上所述仅为本技术的优选实施例，并非因此限制本技术的专利范围，凡是在本技术的技术构思下，利用本技术说明书及附图内容所作的等效结构变换，或直接/间接运用在其他相关的
均包括在本技术的专利保护范围内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种小型化腔体，其特征在于，包括：第一腔体；第二腔体，所述第二腔体设置于所述第一腔体底部中心处；其中，所述第二腔体与所述第一腔体相互连通，且，所述第二腔体的体积小于所述第一腔体的体积，所述第二腔体上的开口需避开蒸发源蒸发路径。2.一种蒸发台设备，其特征在于，包括如权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：张军委，王福平，
申请(专利权)人：爱发科真空技术苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：