用于半导体生产设备上可旋转的移载装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于半导体生产设备上可旋转的移载装置，吸管同时连接吸头部和上、下固定座，构成了完整的本机构。用同步带把电机和同步轮连接在一起，在通过电机安装板上的腰型孔，张紧同步带，电机带动同步轮，带动吸头做旋转运动。上、下固定座可以做相对运动，此目的是保护吸头在吸附产品的时候，产品不受外力损坏，本实用新型专利技术移载装置的过程中同时进行旋转运动，既简化了机构又节省了效率，减震弹簧能有效减轻移载装置吸附过程中对产品吸附面造成的压力，降低了报废率。

Rotatable load shifting device for semiconductor production equipment

The utility model discloses a revolving load shifting device for a semiconductor production equipment. The suction pipe is connected to the head and the upper and lower fixed seat simultaneously, and the complete mechanism is formed. The synchronous belt is used to connect the motor and the synchronous wheel together, through the waist type holes on the motor mounting plate, the synchronous belt is tensioned, the motor drives the synchronous wheel, and the suction head is driven to rotate. The upper and lower fixed seats can do relative motion. This purpose is to protect the suction head when the product is adsorbed. The product is not damaged by the external force. In the process of the utility model, the rotating motion is carried out at the same time, which not only simplifies the mechanism but also saves the efficiency. The damping spring can effectively reduce the adsorption surface of the product during the adsorption process of the load transfer device. The resulting pressure reduces the scrap rate.

【技术实现步骤摘要】
用于半导体生产设备上可旋转的移载装置
本技术涉及一种用于半导体生产设备上可旋转的移载装置。
技术介绍
在半导体设备中，常规用的移载机构是先把产品移载到旋转台，然后经旋转台旋转一定方向，再进行下一步操作，效率低结构复杂，在吸附过程中容易损坏产品吸附面，导致报废率上升。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种用于半导体生产设备上可旋转的移载装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：用于半导体生产设备上可旋转的移载装置，本装置包括吸管、吸头部、上固定座和下固定座，吸头部、上固定座和下固定座套接在吸管上，所述的吸头部包括气接头、吸盘安装柱和吸盘安装座，气接头与吸盘安装柱顶端连接，吸盘安装柱通过吸盘安装座套接在吸管上；所述的上固定座包括基板、导套和导套安装座，基板通过导套与吸管上段连接，导套通过导套安装座套接吸管上，所述的下固定座包括同步轮固定座、同步轮、电机、电机安装板、直线轴承和同步带，电机通过电机安装板与吸管连接，电机输出轴连接同步带一端，同步带另一端与同步轮连接，同步轮通过同步轮固定座套接在直线轴承上，电机安装板通过连接块与基板上的滑轨滑动连接，所述吸管的工本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.用于半导体生产设备上可旋转的移载装置，其特征是：本装置包括吸管、吸头部、上固定座和下固定座，吸头部、上固定座和下固定座套接在吸管（19）上，所述的吸头部包括气接头（9）、吸盘安装柱（10）和吸盘安装座（17），气接头（9）与吸盘安装柱（10）顶端连接，吸盘安装柱（10）通过吸盘安装座（17）套接在吸管（19）上；所述的上固定座包括基板（1）、导套（11）和导套安装座（12），基板（1）通过导套（11）与吸管（19）上段连接，导套（11）通过导套安装座（12）套接吸管（19）上，所述的下固定座包括同步轮固定座（4）、同步轮（5）、电机（6）、电机安装板（7）、直线轴承（15）和同步带（8），...

【技术特征摘要】
1.用于半导体生产设备上可旋转的移载装置，其特征是：本装置包括吸管、吸头部、上固定座和下固定座，吸头部、上固定座和下固定座套接在吸管（19）上，所述的吸头部包括气接头（9）、吸盘安装柱（10）和吸盘安装座（17），气接头（9）与吸盘安装柱（10）顶端连接，吸盘安装柱（10）通过吸盘安装座（17）套接在吸管（19）上；所述的上固定座包括基板（1）、导套（11）和导套安装座（12），基板（1）通过导套（11）与吸管（19）上段连接，导套（11）通过导套安装座（12）套接吸管（19）上，所述的下固定座包括同步轮固定座（4）、同步轮（5）、电机（6）、电机安装板（7）、直线轴承（15）和同步带（8），电机（6）通过电机安装板（7）与吸管（19）连接，电机（6）输出轴连接同步带（8）一端，同步带（8）另一端与同步轮（5）连接，同步轮（5）通过同步轮固定座（4）套接在直线轴承（15）上，电机安装板（7）通...

【专利技术属性】
技术研发人员：张元涛，刘正龙，丁宁，陈迎志，
申请(专利权)人：铜陵三佳山田科技股份有限公司，文一三佳科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽,34