一种半导体生产设备支撑框架制造技术

本发明专利技术公开了一种半导体生产设备支撑框架，包括“日”字形上框架和一“目”字形下框架，所述上框架通过四跟支撑柱固定在所述下框架上，四根支撑柱分别位于所述上、下框架的四个角处，还包括一供半导体生产设备的显示屏安装的面板框架，所述面板框架通过一根支撑杆固定在所述上框架的上方，所述支撑杆位于所述上框架的一角上，所述面板框架与所述支撑杆之间固定有两根上下分布的加强筋，通过不同形状的上、下框架能够方便工作人员区分，从而提高装配效率，通过面板框架的作用能够直接安装半导体生产设备的显示屏，避免使用外接的显示屏，方便半导体生产设备生产过程中的实时监控。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种支撑框架，尤其涉及一种半导体生产设备支撑框架。
技术介绍
现有的半导体生产设备的支撑框架结构非常复杂，装配难度较大，装配效率较低，而且缺少一些辅助性的结构，比如没有显示屏的安装位置，通常是直接外接一个显示屏，导致生产时监测比较麻烦。有鉴于上述的缺陷，本设计人，积极加以研究创新，以期创设一种半导体生产设备支撑框架，使其更具有产业上的利用价值。
技术实现思路
为解决上述技术问题，本专利技术的目的是提供一种结构简单，能够提高装配效率的半导体生产设备支撑框架。本专利技术提出的一种半导体生产设备支撑框架，其特征在于:包括“日”字形上框架和一“目”字形下框架，所述上框架通过四跟支撑柱固定在所述下框架上，四根支撑柱分别位于所述上、下框架的四个角处，还包括一供半导体生产设备的显示屏安装的面板框架，所述面板框架通过一根支撑杆固定在所述上框架的上方，所述支撑杆位于所述上框架的一角上，所述面板框架与所述支撑杆之间固定有两根上下分布的加强筋。作为本专利技术的进一步改进，所述上框架与所述支撑柱的连接处对称固定有两个三角形挡板，所述挡板位于所述上框架靠近所述面板框架的一侧上。作为本专利技术的进一步改进，所述下框架四个角的底部均固定一正方形脚垫。作为本专利技术的进一步改进，所述下框架四个角的侧壁均向外水平延伸一顶块，所述顶块位于所述下框架的宽度方向上。作为本专利技术的进一步改进，所述下框架上两个呈对角连线的顶块上分别固定一第一定位板，所述第一定位板上设有若干定位孔，所述第一定位板水平向外设置。作为本专利技术的进一步改进，所述两个定位块中的一个位于与所述面板框架距离最近的顶块上，另一个位于与所述面板框架距离最远的顶块上。作为本专利技术的进一步改进，所述下框架的侧壁和上框架的侧壁上分别固定一第二定位板和第三定位板，所述第二定位板位于所述下框架侧壁靠近所述第一定位板的位置上，所述第三定位板与所述第二定位板呈对角设置，所述第二、三定位板上均设有若干定位孔。借由上述方案，本专利技术至少具有以下优点:通过不同形状的上、下框架能够方便工作人员区分，从而提高装配效率，通过面板框架的作用能够直接安装半导体生产设备的显示屏，避免使用外接的显示屏，方便半导体生产设备生产过程中的实时监控。上述说明仅是本专利技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本专利技术的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本专利技术的较佳实施例并配合附图详细说明如后。【附图说明】图1为本专利技术半导体生产设备支撑框架的结构示意图一；图2为本专利技术半导体生产设备支撑框架的结构示意图二；其中:1_上框架；2_下框架；3_支撑柱；4_面板框架；5_支撑杆；6_加强筋；7-挡板；8_脚垫；9_顶块；10_第一定位板；11_第二定位板；12_第三定位板。【具体实施方式】下面结合附图和实施例，对本专利技术的【具体实施方式】作进一步详细描述。以下实施例用于说明本专利技术，但不用来限制本专利技术的范围。实施例:一种半导体生产设备支撑框架，包括“日”字形上框架I和一“目”字形下框架2，所述上框架通过四跟支撑柱3固定在所述下框架上，四根支撑柱分别位于所述上、下框架的四个角处，还包括一供半导体生产设备的显示屏安装的面板框架4，所述面板框架通过一根支撑杆5固定在所述上框架的上方，所述支撑杆位于所述上框架的一角上，所述面板框架与所述支撑杆之间固定有两根上下分布的加强筋6。通过不同形状的上、下框架能够方便工作人员区分，从而提高装配效率，通过面板框架的作用能够直接安装半导体生产设备的显示屏，避免使用外接的显示屏，方便半导体生产设备生产过程中的实时监控。所述上框架与所述支撑柱的连接处对称固定有两个三角形挡板7，所述挡板位于所述上框架靠近所述面板框架的一侧上。所述下框架四个角的底部均固定一正方形脚垫8。所述下框架四个角的侧壁均向外水平延伸一顶块9，所述顶块位于所述下框架的宽度方向上。所述下框架上两个呈对角连线的顶块上分别固定一第一定位板10，所述第一定位板上设有若干定位孔，所述第一定位板水平向外设置。所述两个定位块中的一个位于与所述面板框架距离最近的顶块上，另一个位于与所述面板框架距离最远的顶块上。所述下框架的侧壁和上框架的侧壁上分别固定一第二定位板11和第三定位板12，所述第二定位板位于所述下框架侧壁靠近所述第一定位板的位置上，所述第三定位板与所述第二定位板呈对角设置，所述第二、三定位板上均设有若干定位孔。以上所述仅是本专利技术的优选实施方式，并不用于限制本专利技术，应当指出，对于本
的普通技术人员来说，在不脱离本专利技术技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本专利技术的保护范围。【主权项】1.一种半导体生产设备支撑框架，其特征在于:包括“日”字形上框架和一“目”字形下框架，所述上框架通过四跟支撑柱固定在所述下框架上，四根支撑柱分别位于所述上、下框架的四个角处，还包括一供半导体生产设备的显示屏安装的面板框架，所述面板框架通过一根支撑杆固定在所述上框架的上方，所述支撑杆位于所述上框架的一角上，所述面板框架与所述支撑杆之间固定有两根上下分布的加强筋。2.根据权利要求1所述的一种半导体生产设备支撑框架，其特征在于:所述上框架与所述支撑柱的连接处对称固定有两个三角形挡板，所述挡板位于所述上框架靠近所述面板框架的一侧上。3.根据权利要求2所述的一种半导体生产设备支撑框架，其特征在于:所述下框架四个角的底部均固定一正方形脚垫。4.根据权利要求3所述的一种半导体生产设备支撑框架，其特征在于:所述下框架四个角的侧壁均向外水平延伸一顶块，所述顶块位于所述下框架的宽度方向上。5.根据权利要求4所述的一种半导体生产设备支撑框架，其特征在于:所述下框架上两个呈对角连线的顶块上分别固定一第一定位板，所述第一定位板上设有若干定位孔，所述第一定位板水平向外设置。6.根据权利要求5所述的一种半导体生产设备支撑框架，其特征在于:所述两个定位块中的一个位于与所述面板框架距离最近的顶块上，另一个位于与所述面板框架距离最远的顶块上。7.根据权利要求6所述的一种半导体生产设备支撑框架，其特征在于:所述下框架的侧壁和上框架的侧壁上分别固定一第二定位板和第三定位板，所述第二定位板位于所述下框架侧壁靠近所述第一定位板的位置上，所述第三定位板与所述第二定位板呈对角设置，所述第二、三定位板上均设有若干定位孔。【专利摘要】本专利技术公开了一种半导体生产设备支撑框架，包括“日”字形上框架和一“目”字形下框架，所述上框架通过四跟支撑柱固定在所述下框架上，四根支撑柱分别位于所述上、下框架的四个角处，还包括一供半导体生产设备的显示屏安装的面板框架，所述面板框架通过一根支撑杆固定在所述上框架的上方，所述支撑杆位于所述上框架的一角上，所述面板框架与所述支撑杆之间固定有两根上下分布的加强筋，通过不同形状的上、下框架能够方便工作人员区分，从而提高装配效率，通过面板框架的作用能够直接安装半导体生产设备的显示屏，避免使用外接的显示屏，方便半导体生产设备生产过程中的实时监控。【IPC分类】H01L21/67【公开号】CN105118799【申请号】CN201510530315【专利技术人】马志刚, 占峰, 陈伟, 钱怡, 史大金 【申请人】太仓金马金属构件有限公司【公开日】2015年12月2日【申请本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种半导体生产设备支撑框架，其特征在于：包括“日”字形上框架和一“目”字形下框架，所述上框架通过四跟支撑柱固定在所述下框架上，四根支撑柱分别位于所述上、下框架的四个角处，还包括一供半导体生产设备的显示屏安装的面板框架，所述面板框架通过一根支撑杆固定在所述上框架的上方，所述支撑杆位于所述上框架的一角上，所述面板框架与所述支撑杆之间固定有两根上下分布的加强筋。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：马志刚，占峰，陈伟，钱怡，史大金，
申请(专利权)人：太仓金马金属构件有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32