下载一种半导体生产设备支撑框架的技术资料

文档序号:12436801

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本发明公开了一种半导体生产设备支撑框架,包括“日”字形上框架和一“目”字形下框架,所述上框架通过四跟支撑柱固定在所述下框架上,四根支撑柱分别位于所述上、下框架的四个角处,还包括一供半导体生产设备的显示屏安装的面板框架,所述面板框架通过一根支...
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