温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型公开了一种用于半导体生产设备上可旋转的移载装置，吸管同时连接吸头部和上、下固定座，构成了完整的本机构。用同步带把电机和同步轮连接在一起，在通过电机安装板上的腰型孔，张紧同步带，电机带动同步轮，带动吸头做旋转运动。上、下固定座可以做...该专利属于铜陵三佳山田科技股份有限公司;文一三佳科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过铜陵三佳山田科技股份有限公司;文一三佳科技股份有限公司授权不得商用。