连续式镀膜设备的自转载具制造技术

本实用新型专利技术关于一种连续式镀膜设备的自转载具，包括：一底座、复数个齿轮、复数个治具组、一基准边齿条、一对应边齿条、二传动柱及二传动轮，其中，该基准边齿条及该对应边齿条设置于镀膜设备腔体的两侧，当该传动轮被驱动使该自转载具往前移动时，与该基准边齿条及该对应边齿条啮合的复数个齿轮因而旋转，进而带动该复数个治具组随着该齿轮旋转而自转。（*该技术在2017年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术关于一种自转载具，其特别关于一种用于连续 式镀膜设备的自转载具。
技术介绍
真空镀膜技术是表面处理工程领域中的重要技术之一 ，真空镀膜 技术是利用物理、化学手段将固体表面涂覆一层特殊性能的镀膜，从 而使固体表面具有耐磨损、耐高温、耐腐蚀、抗氧化、防辐射、导电、 导磁、绝缘和装饰等许多优于固体材料本身的优越性能，达到提高产 品质量、延长产品寿命、节约能源和获得显著技术经济效益的作用。 利用物理、化学手段将固体表面涂覆一层特殊性能的镀膜，从而使固 体表面具有耐磨损、耐高温、耐腐蚀、抗氧化、防辐射、导电、导磁、 绝缘等许多优于固体材料本身的性能，获得显著技术经济效益的作用。:換，于2004年12月21日公告的中国台湾新型专利第M253601 专利证号，名称为「具自转功能之镀膜夹具」，揭露一种真空镀膜 制程中使用的镀膜夹治具，其特征为 一镀膜夹治具为两金属板，以 复数固定柱固定，金属板中设有复数夹具孔，可以安放可活动的夹具 组，其中夹具孔孔径必需大于夹具组圆杆直径，夹治具中间设有一转 轴，辅以螺帽两边锁固，并连结至台车外部利用马达带动，使之公转， 并藉以放置于夹治具台车上。一般而言，为因应真空镀膜技术应用层面日广，为增加相关镀膜 产品的产业竟争力，必须降低真空镀膜制程的成本，目前真空镀膜制 程中所使用的镀膜设备多为连续式(In-Line)多腔体(Multi-chambers ) 作业流程，在连续式真空镀膜流程中，真空腔体依照物品加载方向， 依序分为低真空、高真空、高真空及低真空等四个真空环境，而连续 式镀膜流程与传统批次式(batch type)或晶圆式(wafer type)生产方式相比可以减少高达60°/。以上生产成本，并可大幅降低设备成本及厂房 空间，故本技术的技术人针对连续式镀膜设备设计出 一种适 用于连续式镀膜设备的自转栽具，以期增进真空镀膜制程的效率。
技术实现思路
本技术主要目的在于提供一种连续式镀膜设备的自转载具， 其可适用于立式或卧式的镀膜设备，不仅增进了真空镀膜制程的效率， 更可透过齿条与齿轮的设计，使得载具移动时治具得以自转，更进一 步加以提升待镀工件的镀膜均匀度。本技术连续式镀膜设备的自转载具的技术方案为 一种用于 连续式镀膜设备的自转载具，该连续式镀膜设备由一腔体、一 自转载具及一賊镀源组成，包括 一底座，设有一基准边凹槽及一 对应边凹槽；复凄t个齿轮，设置于该基准边凹槽及该对应边凹槽中； 复数个治具组，各治具组分别连接于各齿轮并设置于该底座之上；一 基准边齿条，啮合于该基准边凹槽内的齿轮； 一对应边齿条，啮合于 该对应边凹槽内的齿轮；二传动柱，设置于该底座的底面二侧；以及 二传动轮，承接该传动柱；其中，该基准边齿条及该对应边齿条固设 于镀膜设备腔体的两侧，当该传动轮被驱动使该自转载具往前移动， 与该基准边齿条及该对应边齿条啮合的复数个齿轮因而旋转，进而带 动该复数个治具组随着该齿轮旋转而自转。其中，于该底座更包括设置有复数个槽洞。其中，该治具组更包含复数个治具套筒，分别穿过该复数个槽洞 固接于该复数个齿轮。其中，该治具组由复数个治具串接固定而形成，并且插置 于该治具套筒中与该齿轮连动。其中，该治具为一圆形治具，设有一作为各治具相互串接 之用的中心套筒。其中，该镀膜设备为立式或卧式的镀膜设备。本技术的有益效果为因相较于传统的水电镀技术，真空镀 膜技术更具有环保、可回收等特性，加上真空镀膜方法已成为近代薄膜合成的主流，其能在各种不同的基材表面，利用真空溅镀的方式制 作各种功能性薄膜，具有低成本、速度快等优点。故本技术提供 一种连续式镀膜设备的自转载具，其可适用于立式或卧式的镀膜设备， 不仅增进了真空镀膜制程的效率，更可透过齿条与齿轮的设计，使得 载具移动时治具得以自转，更进一步加以提升待镀工件的镀膜均匀度。附图说明图1说明本技术连续式镀膜设备的自转载具的立体示意图； 图2说明本技术连续式镀膜设备的自转载具的组件分解图； 图3说明本技术连续式镀膜设备的自转载具的俯视图；以及 图4说明本技术连续式镀膜设备的自转载具另一实施例的前 视图。图号说明1自转载具11底座111基准边凹槽112对应边凹槽113槽洞12齿轮13治具组131治具1311中心套筒1312工件放置处132治具套筒133治具定位环134止推轴承14A基准边齿条14B对应边齿条15传动柱16传动轮17卡制件171把乎172压制杆173压制块18A固定块18B浮动固定块19A固定夹块19B浮动夹块20弹性组件具体实施方式为使熟悉该项技艺人士了解本技术的目的、特征及功效，兹 藉由下述具体实施例，并配合所附的图式，对本技术详加说明，说明如后习知连续式镀膜设备由一腔体、 一自转载具及一溅镀源组成；接 着请参考图1说明本技术用于连续式镀膜设备的自转栽具的立体 示意图，其中该自转载具1包括 一底座11,内设有一基准边凹槽111 及一对应边凹槽112、 二传动柱15，设置于该底座11的底面二侧、二 传动轮16,承接该传动柱15;复数个齿轮12,设置于该底座ll中； 以及复数个治具组13，各治具组13分别连接于各齿轮12。以下拟详细说明该自转载具1的结构，如前所述，该底座ll设有 一基准边凹槽111及一对应边凹槽112;复数个齿轮12,设置于该基 准边凹槽111及该对应边凹槽112中；复数个治具组13,各治具组13 分别连接于各齿轮12并设置于该底座11之上； 一基准边齿条14A, 啮合于该基准边凹槽111内的齿轮12; —对应边齿条14B,啮合于该 对应边凹槽112内的齿轮12; 二传动柱15, i殳置于该底座11的底面 二侧；以及二传动轮16,承接该传动柱15;其中，该基准边齿条14A 及该对应边齿条14B设置于镀膜设备腔体的两侧，当该传动轮16被驱 动使该自转载具1往前移动，与该基准边齿条14A及该对应边齿条14B 啮合的复数个齿轮12因而旋转，进而带动该复数个治具组13随着该 齿4仑12旋转而自转。接着，请参考图2，说明本技术连续式镀膜设备的自转载具的 组件分解图，在本实施例中，于该底座11的两侧边上共设有六个槽洞 113,即，该基准边凹槽111上方设有三个槽洞113，该对称边凹槽112 上方亦设有三个槽洞113;此外，该治具组13更包含复数个治具套筒 132,各治具套筒132分别穿过该槽洞113，并经由一治具定位环133 及一止推轴承134固接于该齿轮12，该止推轴承134可在该自转载具 1行进时消除该齿轮12旋动时所产生的推力。再者，该治具组13由复数个治具131串接而形成，可配合制程需 求而去增减该治具131的个数，在本实施例中，该治具组13由四个治 具131串接形成，且该治具组13插置于该治具套筒132中，藉由与该 齿轮12固接的治具套筒132使该治具组13与该齿轮12连动，该治具 定位环133则将该治具套筒132固定于该底座11之上而达到定位该治6具组13的目的。而该治具131并不限定于特定的型态，可依制程需求 设计。其中，在本实施例中，该治具131为一圆形治具，设有一中心套 筒13U，该中心套筒1311除了作为各治具131相互串接之用，亦可套 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于连续式镀膜设备的自转载具，该连续式镀膜设备由一腔体、一自转载具及一溅镀源组成，其特征在于，该自转载具包括：一底座，设有一基准边凹槽及一对应边凹槽；复数个齿轮，设置于该基准边凹槽及该对应边凹槽中；复数个治具组，各治具组分别连接于各齿轮并设置于该底座之上；一基准边齿条，啮合于该基准边凹槽内的齿轮；一对应边齿条，啮合于该对应边凹槽内的齿轮；二传动柱，设置于该底座的底面二侧；以及二传动轮，承接该传动柱；其中，该基准边齿条及该对应边齿条固设于该腔体的两侧。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：郭勋聪，
申请(专利权)人：钰衡科技股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：71[]