【技术实现步骤摘要】
一种半导体制造模具
本技术是一种半导体制造模具,属于半导体制造模具领域。
技术介绍
随着半导体行业的发展,新产品内存芯片体积减小,当前使用基板的设计和芯片粘贴位置,决定了封装设备使用现有模具作业时,环氧化树脂的流动不符合新产品的要求,导致树脂溢出到基板封装外侧,造成大量不良品产生,为了对应新产品生产,需要对现有模具进行改造,使环氧化树脂流向变更,确保品质稳定。现有技术公开申请号为CN201420782997.6的一种半导体制造模具,本技术提供一种半导体制造模具,包括:模具板,具有用于设置半导体基板的设置面;多个环氧化树脂注胶沟道,设于所述设置面;多个定位销,在平行所述设置面的平面内延伸,用以定位半导体基板;多个真空管道,设于所述模具板,并从所述设置面向模具板内延伸,用于所述吸附半导体基板固定于设置面;从而突破了封装设备原有基板放置的局限性,能够在部件改造的情况下,达到基板逆向放置的效果。但是,现有技术设备不具有能够将模具固定在桌面或工作台上的装置,能够避免模具在工作过程中因为震动或人为触碰而移位,造成工程进度延误,影响产品质量。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足,本技 ...
【技术保护点】
一种半导体制造模具,其结构包括压板(1)、顶板(2)、定位板(3)、固定吸盘(4),所述压板(1)通过螺纹啮合连接于顶板(2)下方,所述顶板(2)通过螺栓铆合连接于定位板(3)下方,所述定位板(3)通过螺栓铆合连接于顶板(2)上表面,所述固定吸盘(4)嵌设于压板(1)上,其特征在于:所述压板(1)设有伸缩杆(10)、承托板(11),所述伸缩杆(10)通过螺纹啮合连接于压板(1)与顶板(2)之间,所述承托板(11)通过螺栓铆合连接于压板(1)上表面;所述顶板(2)设有连接杆(20)、防滑橡胶圈(21)、垫片(22),所述连接杆(20)通过螺纹啮合连接于顶板(2)上表面四个对角 ...
【技术特征摘要】
1.一种半导体制造模具,其结构包括压板(1)、顶板(2)、定位板(3)、固定吸盘(4),所述压板(1)通过螺纹啮合连接于顶板(2)下方,所述顶板(2)通过螺栓铆合连接于定位板(3)下方,所述定位板(3)通过螺栓铆合连接于顶板(2)上表面,所述固定吸盘(4)嵌设于压板(1)上,其特征在于:所述压板(1)设有伸缩杆(10)、承托板(11),所述伸缩杆(10)通过螺纹啮合连接于压板(1)与顶板(2)之间,所述承托板(11)通过螺栓铆合连接于压板(1)上表面;所述顶板(2)设有连接杆(20)、防滑橡胶圈(21)、垫片(22),所述连接杆(20)通过螺纹啮合连接于顶板(2)上表面四个对角上,所述防滑橡胶圈(21)通过过盈配合连接连接杆(20)与顶板(2)之间,所述垫片(22)通过螺栓铆合连接于连接杆(20)顶部;所述定位板(3)设有U型板(30),所述U型板(30)通过螺栓铆合连接于定位板(3)上表面;所述固定吸盘(4)设有垫圈(40)、连接头(41)、螺旋连接杆(42)、压紧螺母(43)、轴圈(44)、橡胶吸盘(45),所述垫圈(40)通过螺纹啮合连接于连接头(41)上方,所述连接头(41)通过螺纹啮合连接于垫圈(40)与螺旋连接杆(42)之间,所述螺旋连接杆(42)通过螺纹啮合连接于压紧螺母(43)上,所述压紧螺母(43)通过螺纹啮合连接于螺旋连接杆(42)中心部分,所述轴圈(44)通过螺纹啮合连接于螺旋连接杆(42)底部,所述橡胶吸盘(45)通过螺纹啮合连接于轴圈(44)底部。2.根据权利要求1所述的一种半导体制造模具,其特征在于:所述压板(1)为矩形结构,压板(1)设有安装孔,所述安装孔均匀等距嵌设于压板(1)上表面,安装孔设有旋转螺纹,所述旋转螺纹嵌设于安装孔内部,所述压...
【专利技术属性】
技术研发人员:吴航锐,
申请(专利权)人:东莞权科转影科技有限公司,
类型:新型
国别省市:广东,44
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