一种常压炉制造技术

本实用新型专利技术提供一种常压炉，属于半导体技术领域，所述常压炉包括：常压炉主体；基座，所述基座设置在所述常压炉主体内部；石英舟，所述石英舟可拆卸的连接在所述基座上；石英鳍，所述石英舟通过所述石英鳍连接在所述基座上；所述石英鳍采用销柱型石英鳍。本实用新型专利技术的有益效果：采用销柱型石英鳍将石英舟固定在常压炉的基座上，石英舟的拆卸更加方便，且拆卸时石英鳍不易损坏碎裂。

A kind of atmospheric furnace

The utility model provides a normal pressure furnace, which belongs to the field of semiconductor technology. The constant pressure furnace includes the main body of a normal pressure furnace; the base is arranged in the main body of the constant pressure furnace; a quartz boat is detachably connected to the base, and the quartz fin is connected by the quartz fin by the quartz fin. The quartz fin adopts a pin column type quartz fin. The beneficial effect of the utility model is that the quartz boat is fixed on the base of the atmospheric furnace by the pin type quartz fin, and the disassembly of the quartz boat is more convenient, and the quartz fin is not easily broken when dismantling.

【技术实现步骤摘要】
一种常压炉
本技术涉及半导体
，尤其涉及一种常压炉。
技术介绍
东电电子(TOKOYOELECTRONLIMITED，TEL)炉中使用石英鳍将石英舟固定在基座上，其中，TEL低压炉(低压真空炉)和TEL常压炉(常压真空炉)中的石英鳍分别采用不同的设计，低压炉的石英鳍采用销柱设计，常压炉的石英鳍采用螺栓设计。当对常压炉进行维护时由于石英鳍的设计问题会产生很多问题。如图1所示，为现有技术中，常压炉中的石英鳍1的示意图。当维护常压炉时，需要从基座上将石英舟从基座上卸载下来，在卸载石英舟时，又需要首先拆卸用于固定的石英鳍1，由于石英鳍1采用螺栓设计，常压炉中的高温以及拆卸方法的不当都会导致石英鳍1破碎，破碎后的石英鳍1很难清理。
技术实现思路
针对现有技术中存在的问题，本技术提供了一种便于拆卸石英舟，且拆卸时固定用的石英鳍不易损坏的常压炉。本技术采用如下技术方案：一种常压炉，所述常压炉包括：常压炉主体；基座，所述基座设置在所述常压炉主体内部；石英舟，所述石英舟可拆卸的连接在所述基座上；石英鳍，所述石英鳍采用销柱型石英鳍，所述石英舟通过所述石英鳍连接在所述基座上。优选的，所述常压炉内设有反应室。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种常压炉，所述常压炉包括：常压炉主体；基座，所述基座设置在所述常压炉主体内部；石英舟，所述石英舟可拆卸的连接在所述基座上；石英鳍，所述石英舟通过所述石英鳍连接在所述基座上；其特征在于，所述石英鳍采用销柱型石英鳍。

【技术特征摘要】
1.一种常压炉，所述常压炉包括：常压炉主体；基座，所述基座设置在所述常压炉主体内部；石英舟，所述石英舟可拆卸的连接在所述基座上；石英鳍，所述石英舟通过所述石英鳍连接在所述基座上；其特征在于，所述石英鳍采用销柱型石英鳍。2.根据权利要求1所述的常压炉，其特征在于，所述常压炉内设有反应室。3.根据权利要求2所述的常压炉，其特征在于，所述基座设置在所述反应室内。4.根据权利要求1所述的常压炉，其特征在于，所述基座上预设有固定位，所述石英鳍连接在所述固定位上。5.根据权利要求1所述的常压炉，其特征在于，所述销柱型石英鳍包括：凸圆，所述凸圆具有第四直...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈瑞，
申请(专利权)人：武汉新芯集成电路制造有限公司，
类型：新型
国别省市：湖北,42