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本实用新型提供一种常压炉，属于半导体技术领域，所述常压炉包括：常压炉主体；基座，所述基座设置在所述常压炉主体内部；石英舟，所述石英舟可拆卸的连接在所述基座上；石英鳍，所述石英舟通过所述石英鳍连接在所述基座上；所述石英鳍采用销柱型石英鳍。本实...
该专利属于武汉新芯集成电路制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉新芯集成电路制造有限公司授权不得商用。

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