蒸发源和蒸镀设备制造技术
Evaporation source and evaporation equipment
The invention provides an evaporation source including a cavity and a nozzle. The cavity consists of a relative top and a bottom. The nozzle is attached to the top wall of the cavity, the nozzle is connected with a diversion pipe, and the side wall of the cavity is provided with a fixed device, the diversion pipe is bent through the top of the cavity and fixed to the cavity by the fixed device. The side wall of the body. By making the guide pipe fixed to the side wall of the cavity, the flow guide tube is still passing through the high temperature area of the side wall of the cavity, so that the temperature drop of the flow guide tube is slowed down and the temperature in the pipe is higher. The small steam molecules for steam plating are not easy to coagulate in the diversion pipe and prevent the base plate from coming. Bad birth. The invention also provides a kind of steam plating equipment.
【技术实现步骤摘要】
蒸发源和蒸镀设备
本专利技术属于蒸镀
，尤其涉及一种蒸发源和蒸镀设备
技术介绍
蒸镀法是一种物理气相沉积的真空镀膜技术.它是将蒸镀材料置于一个蒸发源内，通过对蒸发源加热，使材料从固态转化为气态原子、原子团或分子，然后沉积到待镀膜的基板表面形成薄膜。OLED显示技术，一般采用真空热蒸镀有机材料制造，通过将有机材料加入蒸发源，在真空环境下通过加热使有机材料或金属材料达到蒸发温度，使材料蒸发或升华到基板上成膜制成OLED显示器件。现有精密金属掩模板(FMM)技术对应的最大基板尺寸是1500*92.5cm,已经大规模用于中小尺寸AMOLED量产，但是精密金属掩模板(FMM)难于用于大尺寸AMOLED量产。有机气相沉积(OVPD)工艺已经商业化，其利用惰性载气(carriergas)用于运输的原理控制小分子冷凝。然而，有机气相沉积由于从蒸发源到莲蓬头或花洒的导流管距离很长，很容易在管路形成凝聚，凝聚的蒸汽小分子容易被载气带到基板上导致不良。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种蒸发源，以解决现有技术所存在导流管距离长导致不良的问题。为实现本专利技术的目的，本专利技术提...
【技术保护点】
一种蒸发源，其特征在于，包括腔体和喷嘴，所述腔体包括相对的顶部和底部，所述喷嘴设于所述腔体顶壁，所述喷嘴与导流管相连，所述腔体侧壁设有固定装置，所述导流管经所述腔体顶部折弯并由所述固定装置固定于所述腔体侧壁面。
【技术特征摘要】
1.一种蒸发源，其特征在于，包括腔体和喷嘴，所述腔体包括相对的顶部和底部，所述喷嘴设于所述腔体顶壁，所述喷嘴与导流管相连，所述腔体侧壁设有固定装置，所述导流管经所述腔体顶部折弯并由所述固定装置固定于所述腔体侧壁面。2.如权利要求1所述的蒸发源，其特征在于，所述固定装置包括第一固定板，所述固定板开设有自所述腔体顶部向下的通孔，所述导流管穿设于所述通孔中。3.如权利要求1所述的蒸发源，其特征在于，所述固定装置包括第二固定板，所述第二固定板背向所述腔体侧壁的侧边开设有自所述腔体顶部向下的凹槽，所述导流管靠设于所述凹槽中。4.如权利要求1所述的蒸发源，其特征在于，所述固定装置包括挡块，所述挡块至少包括两个，相邻两个所述挡块之间形成自所述腔体顶部向下的空隙，所述导流管容置于所述空隙中。5...
【专利技术属性】
技术研发人员：涂爱国，李金川，
申请(专利权)人：深圳市华星光电半导体显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44
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