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本发明提供一种蒸发源,包括腔体和喷嘴,所述腔体包括相对的顶部和底部,所述喷嘴设于所述腔体顶壁,所述喷嘴与导流管相连,所述腔体侧壁设有固定装置,所述导流管经所述腔体顶部折弯并由所述固定装置固定于所述腔体侧壁面。通过使导流管被固定装置固定于腔体...该专利属于深圳市华星光电半导体显示技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市华星光电半导体显示技术有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种蒸发源,包括腔体和喷嘴,所述腔体包括相对的顶部和底部,所述喷嘴设于所述腔体顶壁,所述喷嘴与导流管相连,所述腔体侧壁设有固定装置,所述导流管经所述腔体顶部折弯并由所述固定装置固定于所述腔体侧壁面。通过使导流管被固定装置固定于腔体...