浆料组合物和使用方法技术

一种用于化学‑机械抛光蓝宝石基底的浆料组合物，并且其包含碱性pH调节剂和促进剂。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】浆料组合物和使用方法专利
本专利技术涉及一种用于化学-机械抛光蓝宝石基底的浆料组合物，和使用该浆料组合物的方法。相关领域说明本专利技术所述的蓝宝石基底是由具有非常高的纯度水平的单晶氧化铝制成的，并且应用于智能手机和平板电脑上的LED照明和防护玻璃。用于化学-机械抛光蓝宝石基底的多种浆料组合物是本领域已知的。这种现有技术的浆料组合物通常由分散在去离子水和/或其他液体中的磨粒组成。常规使用的磨粒包括例如二氧化硅和氧化铝。二氧化硅是抛光具有高表面品质的蓝宝石基底最常用的磨料。另一方面，与二氧化硅相比，氧化铝基浆料产生了明显更高的去除率，但是具有较低的表面品质。随着工业上持续寻求改进生产能力以变得更加成本有效，使用前述磨料增加去除率，同时实现高的表面品质变得非常令人期望。
技术实现思路
本专利技术提供一种提高蓝宝石晶片的抛光速率的方法。该方法包括将碱性氧化铝浆料和包含阳离子有机化合物的抛光促进剂一起使用。本专利技术提供一种含水抛光浆料组合物，其包含去离子水、氧化铝颗粒、强碱性pH调节剂和加速蓝宝石基底的抛光速率的试剂。碱性pH调节剂可以是氢氧化物，例如以下的任一种：氢氧化钠、氢氧化钾、氢氧化本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种含水浆料组合物，其包含：氧化铝颗粒；碱性pH调节剂，其选自氢氧化钠、氢氧化钾、氢氧化锂、氢氧化铯及其组合；和阳离子有机抛光促进剂，其包含至少一个具有正电荷的中心原子，所述中心原子与四个有机基侧基连接，并且用带负电荷的阴离子平衡。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.08.19 US 62/206,9721.一种含水浆料组合物，其包含：氧化铝颗粒；碱性pH调节剂，其选自氢氧化钠、氢氧化钾、氢氧化锂、氢氧化铯及其组合；和阳离子有机抛光促进剂，其包含至少一个具有正电荷的中心原子，所述中心原子与四个有机基侧基连接，并且用带负电荷的阴离子平衡。2.根据权利要求1所述的含水浆料组合物，其中所述中心原子是氮或者磷。3.根据权利要求1所述的含水浆料组合物，其中所述带负电荷的阴离子选自氢氧根、氯离子、溴离子、碘离子、硝酸根、硫酸根、磷酸根及其组合。4.根据权利要求1所述的含水浆料组合物，其中所述阳离子有机抛光促进剂是选自以下的一种或多种：四甲基氢氧化铵、四乙基氢氧化铵、四丁基氢氧化铵、四丁基溴化铵、十六烷基三甲基溴化铵(CTAB)、十六烷基三甲基氯化铵(CTAC)、苯扎氯铵、聚(2-甲基丙烯酰氧乙基三甲基氯化铵)、四甲基氯化鏻、羟乙基纤维素二甲基二烯丙基氯化铵共聚物(聚季铵盐-4)、聚(2-甲基丙烯酰氧乙基三甲基氯化铵)和阳离子瓜尔胶。5.根据权利要求1所述的含水浆料组合物，其中氧化铝颗粒的平均粒度(D50)是约0.02μm至约7.0μm。6.根据权利要求1所述的含水浆料组合物，其中碱性pH调节剂是氢氧化钾。7.根据权利要求1-6任一项所述的含水浆料组合物，其中浆料的pH值是10至13，优选12至12.5。8.根据权利要求1-7任一项所述的含水浆料组合物，其中氧化铝颗粒包含至少70％的α晶相。9.一种抛光蓝宝石基底的方法，其包括当抛光垫和基底受压彼此接触并且相对于...

【专利技术属性】
技术研发人员：穆罕默德·H·莫格赫希，纳撒尼尔·D·乌尔班，叶·纱因·赫尔，
申请(专利权)人：费罗公司，
类型：发明
国别省市：美国,US