【技术实现步骤摘要】
一种改善扩散均匀性的炉管
本技术属于太阳能电池制造领域,具体涉及一种改善扩散均匀性的炉管。
技术介绍
太阳能电池制造的核心工序为扩散工序,随着太阳能电池制造技术的发展,扩散方阻不断升高,同时面对成本的压力,产能的提升,石英舟槽距越来越小对磷源扩散要求也越来越高。传统的扩散方式只能通过减少气体流速、磷源携带量和延长扩散时间,不能很好的解决产能与方阻均匀性。
技术实现思路
本技术的目的在于克服上述现有技术的不足,提供一种结构简单、操作方便效率高,挥发少,不容易损坏的简便式浆料过滤装置。本技术所述的一种改善扩散均匀性的炉管,包括石英炉管,所述的炉管内设有镂空螺旋结构体,所述的镂空螺旋结构体的高度与炉管的内壁直径相等。进一步改进,所述的镂空螺旋结构体为石英材料制成,可耐高温。进一步改进,所述的镂空螺旋结构体为螺旋形薄片,该薄片的宽度为1-2cm。本技术的工作原理:常规石英管中内壁上,加入螺旋状的石英条,在气体运行过程中,管壁处的磷源受到石英条的阻挡,改变平行于石英管运行的轨迹,向下运行,可以更深入的进入硅片中间,改善片内均匀性。本技术的有益效果在于:与现有技术相比,本实用操作简单方便,可以节约生产时间和劳动力,大大提高了生产效率,减少了生产成本;利用空气动力学原理,通过增加螺旋结构使五氧化二磷颗粒增加横向移动,从而深入硅片之间的缝隙中,改善方阻片内均匀性。附图说明图1是本技术的结构示意图。具体实施方式如图1所示,本技术所述的一种改善扩散均匀性的炉管,包括炉管1,所述的石英炉管内设有镂空螺旋结构体2,所述的镂空螺旋结构体的高度与炉管的内壁直径相等。所述的镂空螺旋结构体为石英 ...
【技术保护点】
一种改善扩散均匀性的炉管,包括石英炉管,其特征在于:所述的石英炉管内设有镂空螺旋结构体,所述的镂空螺旋结构体的高度与炉管的内壁直径相等。
【技术特征摘要】
1.一种改善扩散均匀性的炉管,包括石英炉管,其特征在于:所述的石英炉管内设有镂空螺旋结构体,所述的镂空螺旋结构体的高度与炉管的内壁直径相等。2.根据权利要求1所述的改善扩散均匀...
【专利技术属性】
技术研发人员:蒋建宝,
申请(专利权)人:无锡赛晶太阳能有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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