光学玻璃均匀性测试装置制造方法及图纸

一种光学玻璃均匀性测试装置，该装置包括干涉仪数据采集系统和待测光学玻璃调配系统，干涉仪和数据采集系统，由激光器、分束器、扩束物镜、成像物镜、ＣＣＤ相机和图像采集处理器组成，待测光学玻璃调配系统，包括一液槽，在该液槽内依次置放托板、花岗岩平板、升降网和待测光学玻璃，该液槽设有排液阀和注液阀，其内装有折射率匹配液，该液槽通过管道、注液阀与盛有折射率匹配液的液罐相通，所述的液槽置于倾斜调整机构上，该倾斜调整机构置于防振台上。本实用新型专利技术能直接测量表面不进行预加工的光学玻璃的均匀性，是光学玻璃折射率均匀性的绝对测量，该测试装置可以达到４×１０↑［－７］精度。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及光学玻璃，特别是一种光学玻璃均匀性测试装置，尤其适用于 大尺寸高精度光学玻璃材料的均匀性测试。技术背景近年来用于激光约束聚变的大能量、高功率激光装置发展迅猛，如美国的NIF 和中国的"神光"，这些激光装置需要大量的大尺寸(对角线0.5 lm)平面类透射 激光光学元件。激光系统对这类光学元件的透射波面误差的要求一般在0.25 0.1 入(P—V值)。要加工出精度如此高的光学元件， 一方面对材料的光学均匀性提出 要求非常高，因为厚度为40mm的玻璃材料，局部折射率10—6量级的变化，其单次透 射光波引起的畸变就达到0. 1 A (n取1.53, A取0.633pm);另一方面在玻璃的均 匀性确定的情况下，假如能够测量出均匀性的分布情况就可以在光学加工中采取加 工补偿的办法获得整个透射波面满足要求的光学元件，这在大尺寸激光平面光学元 件的加工中是尤为重要的。郭培基，余景池等人研制了采用激光干涉仪的高精度光学玻璃光学均匀性测量 仪(《激光杂志》2004年第25巻第3期)。该光学玻璃的均匀性测试装置示意图见 图l。它是通过四步测量方法得到被测样品均匀性的绝对测量值，见图2。在已本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光学玻璃均匀性的测试装置，其特征在于包括：　干涉仪和数据采集系统（３１），由激光器（３１－１）、分束器（３１－２）、扩束物镜（３１－３）、成像物镜（３１－４）、ＣＣＤ相机（３１－５）和图像采集处理器（３１－６）组成，其位置关系是：激光器（３１－１）发出的激光透过分束器（３１－２）经扩束物镜（３１－３）扩束准直后照射置于液槽（３２－１）中的待测光学玻璃（３３），该扩束物镜（３１－３）又收集由所述的液槽（３２－１）方向的反射光束经分束器（３１－２）反射后，由成像物镜（３１－４）成像被所述的ＣＣＤ相机（３１－５）摄像并传送给图像采集处理器（３１－６）；　待测光学玻璃调配系统（３２），包括一液槽（...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张宝安，朱宝钤，
申请(专利权)人：中国科学院上海光学精密机械研究所，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]