【技术实现步骤摘要】
均温拉晶炉
本技术涉及一种拉晶炉，具体地说是涉及半导体生产
的设备。技术背景均温拉晶炉的炉体是由多个带孔的耐火砖叠放而成的，所述各个耐火砖的孔上下位置照应的，在相邻的耐火砖之间缝隙中具有电阻丝，在所述的孔的内圈还有一个铁制的空心套体，所述的套体的上端和下端覆盖着耐火砖，这样的均温拉晶炉具有效率低、热耗大的缺点。
技术实现思路
本技术的目的就是针对上述缺点，提供一种效率更高、更节约能源的均温拉晶炉。本技术的技术方案是这样实现的均温拉晶炉，包括炉体，所述的炉体是由多个带孔的耐火砖叠放而成的，所述各个耐火砖的孔上下位置照应的，在相邻的耐火砖之间缝隙中具有电阻丝，在所述的孔的内圈还有一个铁制的空心套体，所述的套体的上端和下端覆盖着耐火砖，其特征是所述的套体上具有小孔。较好的技术效果是所述的小孔直径小于0. 5厘米，小孔的面积占套体整个面积的30%以上。本技术的有益效果是这样结构的均温拉晶炉具有效率更高、更节约能源的优点。附图说明图1是本技术的剖面结构示意图。其中1、套体2、小孔。具体实施方式以下结合附图对本技术作进一步的描述。如图1所示，均温拉晶炉，包括炉体，所述的炉体是由多个带孔的耐火砖叠放而成的，所述各个耐火砖的孔上下位置照应的，在相邻的耐火砖之间缝隙中具有电阻丝，在所述的孔的内圈还有一个铁制的空心套体1，所述的套体1的上端和下端覆盖着耐火砖，其特征是所述的套体1上具有小孔2。较好的技术效果是所述的小孔2直径小于0. 5厘米，小孔的面积占套体整个面积的30%以上，这样可以节约能源15%以上，还能保证均温的效果。
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.均温拉晶炉，包括炉体，所述的炉体是由多个带孔的耐火砖叠放而成的，所述各个耐火砖的孔上下位置照应的，在相邻的耐火砖之间缝隙中具有电阻丝，在所述的孔的内圈还有一个铁制的空心套...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘宝成，
申请(专利权)人：河南恒昌电子有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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