宏观照明装置制造方法及图纸

包括：光源（２３），将从该光源（２３）输出的照明光会聚的菲涅尔透镜（２４），在使照明光散射或者原样的通过之间进行切换的液晶散射板（２５），将光纤（２６）的射出端和菲涅尔透镜（２４）容纳到照明箱（２２）内使之成一整体地移动、使玻璃基板（３）的表面上的宏观照明区域Ｗ移动的照明区域移动机构（２８）。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术例如涉及在半导体片及平板(flat panel)显示(下面称之为FPD)的玻璃基板等对象物的宏观检查时，进行照明用的宏观(macro)照明装置。
技术介绍
图16是特愿2002-521961号(最先基础申请编号特愿2000-253924号，最先基础申请日2000年8月24日，未公开)所述的宏观照明装置的结构图。在该未公开的装置主体1的内部设置保持部件(holder)2。在该保持部件2上保持用于LCD等的FPD的玻璃基板3。这种玻璃基板3，在大型的FPD中，例如已出现4倒角及6倒角的超过1000mm的大小的基板。保持部件2在中心部可自由旋转地被支承，以该支承部为中心，可以在规定的角度范围内摆动或旋转。在装置主体的上方设置多个、例如在前后左右共计4个构成照明系统的各照明光源4。对应于这些照明光源4，以规定的角度倾斜地设置对应于这些照明光源4的多个、例如前后左右共计4个反射镜5。在这些反射镜5的反射光光路上，配置分割为4部分的集光光学系统6R、6F。这些集光光学系统6R、6F，由第一及第二菲涅尔透镜61、62构成，沿装置主体的前后方向排列成两列设置。在装置主体的上方，分别配置多个照明光源4、8。从这些照明光源输出的各个照明光线，被各个反射镜5反射，入射到4个集光光学系统6R、6F上。这些集光光学系统6R、6F将各个照明光形成会聚光束7，均匀地照射到大型玻璃基板3的整个区域上。借此，玻璃基板3被各个会聚光束照明，可以通过目视对表面上的损伤及污物进行宏观检查。但是，例如为了将4倒角及获6倒角用的1000mm大型玻璃基板3的整个面宏观照明，例如，需要共计4个照明光源4和集光光学系统6。此外，当伴随着玻璃基板的大型化，各个照射区域变大时，照明光学系统的光路变长。因此，将照明光学系统配置在受到限制的装置主体1的空间内是比较困难的。在各个照明光源4和各个集光光学系统6R、6F之间必需配置反射镜5。因此，由于装置主体的尺寸的关系，各个反射镜5的面积不能很大。专利技术的概述根据本专利技术的主要观点，提供一种宏观照明装置，包括输出照明光线的光源部；将从光源部输出的照明光线会聚的聚束透镜；使从聚束透镜来的会聚光散射，照射到对象物上；或者使从会聚透镜来的会聚光通过，照射到对象物上的会聚、散射切换部；至少使光源和聚束透镜成一整体地二维移动、将由对象物上的散射光或会聚光照明的照明区域移动的照明区域移动机构。附图说明图1、是采用根据本专利技术所宏观照明装置的第一种实施形式的宏观检查装置的外观结构图。图2、是根据本专利技术的宏观照明装置的基板概念的结构图。图3、是表示根据本专利技术的宏观照明装置的第一种实施形式的具体的结构图。图4、是从上方观察时看到的根据本专利技术的宏观照明装置的第一种实施形式中的照明区域移动机构的结构图。图5、是表示在根据本专利技术的宏观照明装置的第一种实施形式中对4倒角玻璃基板的宏观照明区域的图示。图6、是表示在根据本专利技术的宏观照明装置的第一种实施形式中对6倒角的玻璃基板的宏观照明区域的图示。图7、是根据本专利技术的宏观照明装置的第二种实施形式中照明箱的结构图。图8、是根据本专利技术的宏观照明装置的第三种实施形式中照明箱的结构图。图9、是根据本专利技术的宏观照明装置的第四种实施形式中照明箱的结构图。图10、是根据本专利技术的宏观照明装置的第五种实施形式中的光源组及照明箱的结构图。图11、是表示根据本专利技术的宏观照明装置的第五种实施形式中的变形例的结构图。图12、是表示同一个变形例中旋转板上的各个滤光器的配置图。图13、是表示根据本专利技术的宏观照明装置的第五种实施形式中的变形例的结构图。图14、是表示同一个变形例中旋转板上的各个ND滤光器的图示。图15、是根据本专利技术的宏观照明装置的第五六种实施形式的结构图。图16、是表示现有技术的宏观照明装置的结构图。具体实施例方式下面，参照附图对本专利技术的第一种实施形式进行说明。图1是宏观检查装置的外观图。在装置主体20内，设置可摆动的保持部件2。在该保持部件2上，例如保持4倒角或6倒角用的大型玻璃基板3。图1中的保持部件2，向检查员Q侧竖起。在装置主体20的上部，设置图2所述的基本概念的宏观照明装置21。在作为筐体的照明箱22内，设置光源23。该照明箱22能够在xy平面内移动。在该照明箱22的开口部，设置作为会聚透镜的菲涅尔透镜24。作为会聚透镜，除菲涅尔透镜之外，也可以将多个大孔径的凸透镜及小孔径的凸透镜排列成矩阵状。该菲涅尔透镜24，如果具有将从光源23输出的照明光线会聚的光学作用的话，一个透镜就可以，或者，也可以是形成平行光束和会聚光束的两个透镜构成的透镜组。在照明箱22的下方，作为散射机构，设置透射型的液晶散射板25。该液晶散射板25与xy平面基本上平行地设置。该元件散射板25，能够在成为半透明状态、使从照明箱22输出的会聚光c散射、将散射光s照射到玻璃基板3上的动作；以及成为透明状态、解除使会聚光c散射的作用、使会聚光c原样地通过并照射到玻璃基板3上的动作之间切换。采用这种宏观照明装置21，液晶散射板25能够进行切换，使得从照明箱22输出的会聚光c散射，或者使会聚光c原样地通过。为了将散射光s或会聚光c照射到玻璃基板3上的想要进行宏观检查的区域上，照明箱22沿xy方向移动。借此，玻璃基板3上被散射光s或会聚光c宏观照明，通过检查员的目视宏观检查玻璃基板3表面上的损伤及污物。其次，参照图3及图4说明宏观照明装置21的具体结构。此外，与图2相同的部分，附图相同的标号，省略其详细说明。设置一个或多个光源23。在图中所示的例子中，表示的是装载一个光源23的例子。光源23设置在图1所示的装置主体20中易于更换的部位，例如装置主体20的后侧或前侧的下部。此外，光源23，也可以备有相同种类的多个光源，当在使用过程当中，光源23的寿命到期或者不能用时，能够切换到新的预备光源23上。此外，也可以配备多个光源23，将这些光源23同时点亮。进而，也可以配备多种光源23，分别选择每种光源23，或者同时选择多种光源将其点亮。光纤26的一端连接到光源23上的同时，另一端连接到照明箱22上。光纤26的另一端插入照明箱22内。在光纤26的另一端的射出口上，设置透镜27。光纤26的插入照明箱22内的部分，为了使射出口的位置不会偏移而被固定。照明移动机构28，具有使照明箱22在xy平面内移动的XY载物台的功能。在基座29上形成开口部30。在该开口部30的边缘上形成阶梯差31。在该阶梯差31上设置液晶散射板25。在基座29上形成开口部30。两个直线导向件32、33在基座29的开口部30的对向的各边上沿y方向相互平行地设置。在这些直线导向件32、33上，经由各可动部34、35可沿y方向自由移动地设置Y载物台36。此外，在基座29上，相对于一个直线导向件33平行地设置滚珠丝杠37。滚珠丝杠37的两个端部，由各支承部38、39可自由旋转地支承。Y载物台36经由螺纹配合支承部40连接到该滚珠丝杠37上。滚珠丝杠37的一个端部，与y方向马达41的轴连接。该y方向马达41使滚珠丝杠37正转、反转。在该y方向马达41上，设置旋转编码器42。该旋转编码器42输出对应于y方向马达41的旋转的脉冲信号py。在Y载物台36上，形成四边形的开口部43。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种宏观照明装置，其特征在于，它包括：输出照明光的光源部，将从前述光源部输出的前述照明光会聚的会聚透镜，会聚、散射切换部，使从前述会聚透镜来的会聚光散射，照射到对象物上；或者使从前述会聚透镜来的前述会聚光通过，照射到前述对象物上，至少使前述光源和前述会聚透镜成一整体地进行二维移动，将前述对象物上的由前述散射光或会聚光照射的照明区域移动的照明区域移动机构。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：神崎和宏，
申请(专利权)人：奥林巴斯株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]