显示器面板生产制程的异物检测方法技术

技术编号:2583979 阅读:317 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种异物检测方法,是使用于检测制程平台或基板上的异物存在。利用一可微调位置的精密治具,架设一激光传感器于制程平台或基板的一侧边,并在制程平台或基板的另一侧边,相对于激光传感器的位置,置放一反射镜;接着,激光传感器提供一激光束,并接收经由反射镜反射的回馈光束,观察激光束由制程平台或基板的侧边,通过制程平台或基板表面时的强度衰减情形。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术是有关于一种检视异物存在的方法,且特别是一种针对于显示器面板制程平台上的异物存在的检测方法。
技术介绍
在液晶显示面板(Liquid Crystal Display;LCD)的制造中,一般承载基板的制程平台(stage)以及基板表面上的清洁度是相当重要的,任何存在于制程平台或是基板上的异物,都将会影响制程稳定性与制程质量,甚至是导致产品与机台的损伤。尤其是在液晶制造后段的配向膜(alignment film)涂布制程进行时,若因有异物存在于制程平台,或是玻璃基板的表面时,都会使涂布无法顺利进行,以致影响涂布膜层的品质而降低液晶显示质量的控制,另外,也会因异物的存在而造成涂布滚轮或其它设备上的损害,甚至是导致玻璃基板的破损,而影响产品产能以及机台运作寿命。因此,除了维持制程平台与基板表面的清洁度的外,异物检测也是必要的步骤,通常在制程进行的前,会先对制程平台或是基板表面进行异物检测,若发现有异物存在,便停止制程进行。如此,将可有效预防制程平台或基板表面的异物对产品与设备的损害。传统的异物检测方法,是选用扩散光或是激光,对制程平台或基板表面进行观测,以光的扩散、反射或是绕射本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种显示器面板生产制程的异物检测方法,该方法至少包含:安装一激光光源及一激光传感器,位于一待测物体的一第一侧边,其中,激光传感器安装于一治具上,用以微调激光传感器的高度与水平位置;提供一反射镜,位于待测物体的一第二侧边; 利用激光光源提供一激光束,通过待测物体上方的一检测位置再传至反射镜,并通过反射镜形成一回馈光束;利用激光传感器接收回馈光束;以及观察回馈光束的强度。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:周水德姜子建
申请(专利权)人:中华映管股份有限公司
类型:发明
国别省市:71[中国|台湾]

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