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一种异物检测方法，是使用于检测制程平台或基板上的异物存在。利用一可微调位置的精密治具，架设一激光传感器于制程平台或基板的一侧边，并在制程平台或基板的另一侧边，相对于激光传感器的位置，置放一反射镜；接着，激光传感器提供一激光束，并接收经由反射...
该专利属于中华映管股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中华映管股份有限公司授权不得商用。

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