【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种检测玻璃盘的圆周(peripheral)表面缺陷的光学系 统以及一种检测其圆周表面缺陷的装置，更具体而言，涉及这样一种检 测玻璃盘的圆周表面缺陷的光学系统，该光学系统可以以高精度检测外 周缺陷，例如当夹持玻璃盘基底时所导致的裂紋、缺口和裂缝，而不用 检测作为缺陷之一沉积在外周表面上的大多数杂质。
技术介绍
作为例如用于计算机的其中 一种信息记录介质，磁盘按照常规使用 铝盘作为其原材料，然而，近来由于对其尺寸降低和高记录密度的需 要，玻璃盘被用作原材料并在其上形成磁膜。玻璃盘的表面被抛光并变 得平滑，然而在上述的抛光操作及其处理期间，其内周边缘或外周边缘 有时会出现缺口和裂缝。因为由于出现上述情况而导致盘的质量下降， 所以例如缺口和裂缝被进行检查，并且当其程度低时，盘被再次抛光， 而当其程度高时，盘被确定为不合格品。通过缺陷检查装置来检查并判 定上述缺口和裂缝的尺寸的程度。将参考图7来解释玻璃盘的外周边缘部分及其缺口缺陷。在图7(a)中，玻璃盘l包括各种外径，并且其中的每一种都具有 带有预定直径的中心孔H。图7 (b)示出其外周部分的横截面图，并...
【技术保护点】
一种检测盘的圆周表面缺陷的光学系统，用于检测在盘的外周表面处的缺陷，包括： 光照射系统，其将光束从旋转的玻璃盘的背面通过玻璃盘的内部照射到在玻璃盘的正面一侧处的外周斜面部分上， 光接收器，其被设置成远离外周斜面部分一个预定距离，以及 光阑，其被设置在光接收器的前面， 其中光接收器接收通过光阑在外周斜面部分处透射并折射的光束，并且基于光接收器接收到的光信号来检测在玻璃盘的外周表面处的缺陷。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：芹川滋，石黑隆之，
申请(专利权)人：日立高新技术有限公司，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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