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本发明公开了一种检测玻璃盘的圆周表面缺陷的光学系统及装置。在本发明中，由于光束从玻璃盘的背面通过玻璃盘被照射到在玻璃盘正面一侧处的外周斜面部分上，所以在接收到的光中由于杂质和裂纹而导致的消光量之间的差增大，并且可以响应于该差而获得接收到的表...
该专利属于日立高新技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过日立高新技术有限公司授权不得商用。

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