用于锌扩散的装置及其锌扩散方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种用于锌扩散的装置及其锌扩散方法。所述方法包括：将外延片和锌扩散源放置于反应腔内，锌扩散源距离外延片的边缘预定距离；通入载气，并将反应腔的工作压强调节至预定压强；将反应腔的温度加热到第一设定温度并保持第一设定时间，以对外延片和锌扩散源进行预热；将反应腔的温度加热到第二设定温度并保持第二设定时间；将反应腔的温度降低至第三设定温度并保持第三设定时间；继续对反应腔进行降温，以使反应腔的温度降到预定温度以下，从而完成锌扩散。本发明专利技术操作简单，成本低廉，制备得到的成品表面损伤少，结深易控制，适合大批量连续生产。

【技术实现步骤摘要】
用于锌扩散的装置及其锌扩散方法
本专利技术属于半导体光电器件
，具体地讲，涉及一种用于锌扩散的装置及其锌扩散方法。
技术介绍
光纤传输系统由于具有低损耗、大容量、长距离和低色散的光学特性备受信赖，而得到广泛应用。III-V族化合物半导体光电探测器扮演着光通信系统中接收器最重要角色而得到迅速发展。由于光纤传输系统继续向低损耗、大容量和长距离方向发展，要求其暗电流低、灵敏度高和响应度快。PN结是III-V族化合物半导体光电探测器中最重要的电学结构之一，平面型InP基探测器的制备通过锌扩散工艺在n型材料中进行p型掺杂形成，掺杂元素的掺杂浓度与扩散深度，特别是PN结的结深，对器件的性能至关重要。锌扩散技术作为制备Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体光电探测器关键工艺之一，一直受到研究人员的关注。作为一种掺杂手段，它与离子注入法相比，具有工艺简单，引入的晶格损伤少等特点。锌扩散形成PN结的方法主要有闭管扩散和开管扩散两种形式。由于闭管锌扩散具有表面损伤小，易控制和重复性好的特点，因此Zn3P2为扩散源的闭管锌扩散得到了广泛研究。但是闭管扩散需要在真空石英管内进行，抽真空、封管和开管工艺操作复杂，成本昂贵本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种锌扩散方法，其特征在于，包括：将外延片和锌扩散源放置于反应腔内，所述锌扩散源距离所述外延片的边缘预定距离；通入载气，并将所述反应腔的工作压强调节至预定压强；将所述反应腔的温度加热到第一设定温度并保持第一设定时间，以对所述外延片和所述锌扩散源进行预热；将所述反应腔的温度加热到第二设定温度并保持第二设定时间；其中，所述第二设定温度大于所述第一设定温度；将所述反应腔的温度降低至第三设定温度并保持第三设定时间；其中，所述第三设定温度低于所述第二设定温度；继续对所述反应腔进行降温，以使所述反应腔的温度降到预定温度以下，从而完成锌扩散。

【技术特征摘要】
1.一种锌扩散方法，其特征在于，包括：将外延片和锌扩散源放置于反应腔内，所述锌扩散源距离所述外延片的边缘预定距离；通入载气，并将所述反应腔的工作压强调节至预定压强；将所述反应腔的温度加热到第一设定温度并保持第一设定时间，以对所述外延片和所述锌扩散源进行预热；将所述反应腔的温度加热到第二设定温度并保持第二设定时间；其中，所述第二设定温度大于所述第一设定温度；将所述反应腔的温度降低至第三设定温度并保持第三设定时间；其中，所述第三设定温度低于所述第二设定温度；继续对所述反应腔进行降温，以使所述反应腔的温度降到预定温度以下，从而完成锌扩散。2.根据权利要求1所述的锌扩散方法，其特征在于，所述预定温度为100℃。3.根据权利要求1所述的锌扩散方法，其特征在于，所述第一设定温度设为100℃～400℃，所述第一设定时间为10s～120s...

【专利技术属性】
技术研发人员：王梦雪，谭明，杨文献，代盼，吴渊渊，陆书龙，
申请(专利权)人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所，
类型：发明
国别省市：江苏,32