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本发明公开了一种用于锌扩散的装置及其锌扩散方法。所述方法包括：将外延片和锌扩散源放置于反应腔内，锌扩散源距离外延片的边缘预定距离；通入载气，并将反应腔的工作压强调节至预定压强；将反应腔的温度加热到第一设定温度并保持第一设定时间，以对外延片和...
该专利属于中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所授权不得商用。

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