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本实用新型公开了一种改善扩散均匀性的炉管，包括石英炉管，所述的炉管内设有镂空螺旋结构体，所述的镂空螺旋结构体的高度与炉管的内壁直径相等。本实用新型利用空气动力学原理，通过增加螺旋结构使五氧化二磷颗粒增加横向移动，从而深入硅片之间的缝隙中，改...
该专利属于无锡赛晶太阳能有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡赛晶太阳能有限公司授权不得商用。

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