具有加热电极的微电子器件制造技术

本发明专利技术涉及微电子器件的不同设计，该微电子器件包括在样品室的相同子区具有作用的加热电极（ＨＥ）和场电极（ＦＥ）。通过施加恰当的电压至场电极（ＦＥ），能够在样品室中生成电场（Ｅ）。通过施加恰当的电流至加热电极（ＨＥ），能够根据期望的温度分布加热样品室。加热电极（ＨＥ）可以可选地作为场电极操作，使得它们也在样品室中生成电场。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
一种用于操控样品的微电子器件，包括：　ａ）样品室（ＳＣ）；　ｂ）至少一个加热电极（ＨＥ、ＦＨＥ），用于在被以电能驱动时，与该样品室的至少一个子区交换热；　ｃ）至少一个场电极（ＦＥ），用于在向它施加电位时，在该样品室的所述子 区中生成电场（Ｅ）；　ｄ）控制单元（ＣＵ、ＣＵ１、ＣＵ２），用于选择性地驱动电极（ＨＥ、ＦＨＥ、ＦＥ）。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：MWG蓬吉，MF吉利斯，MT约翰逊，DA菲什，
申请(专利权)人：皇家飞利浦电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：NL[荷兰]