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本发明涉及微电子器件的不同设计,该微电子器件包括在样品室的相同子区具有作用的加热电极(HE)和场电极(FE)。通过施加恰当的电压至场电极(FE),能够在样品室中生成电场(E)。通过施加恰当的电流至加热电极(HE),能够根据期望的温度分布加热...该专利属于皇家飞利浦电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过皇家飞利浦电子股份有限公司授权不得商用。
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本发明涉及微电子器件的不同设计,该微电子器件包括在样品室的相同子区具有作用的加热电极(HE)和场电极(FE)。通过施加恰当的电压至场电极(FE),能够在样品室中生成电场(E)。通过施加恰当的电流至加热电极(HE),能够根据期望的温度分布加热...