【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
采用泵浦式紫外光源的微电子及精密器件清洗系统包括一清洗腔、一清洗执行系统，所述清洗执行系统连接一紫外光源，以及一控制系统，其特征在于：所述紫外光源采用一电子束激发紫外光源，所述电子束激发紫外光源包括一电致发光半导体机构，还包括一激励源，所述激励源采用一电子枪系统；所述电致发光半导体机构设置在所述电子枪系统的靶向方向上，所述电致发光半导体机构连接一电极；所述电子束激发紫外光源还设有一用于透射出紫外线的出光口。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：张学渊，赵健，梁忠辉，钟伟杰，唐伟，夏忠平，
申请(专利权)人：上海显恒光电科技股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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