【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
采用场发射阵列激发的平板紫外辐射光源的清洗箱,包括紫外清洗箱主体,所述紫外清洗箱主体包括箱壁,所述箱壁围成一清洗腔,所述清洗腔内设有清洗执行系统,所述清洗执行系统连接一紫外光源,以及一控制系统,其特征在于:?所述紫外光源采用一场发射阵列激发的平板紫外辐射光源,所述场发射阵列激发的平板紫外辐射光源位于所述清洗腔内;?所述光源包括一阳极板,所述阳极板上设有一紫外荧光粉层;?所述光源还包括一场发射阴极阵列,所述场发射阴极阵列朝向所述阳极板。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:钟伟杰,赵健,夏忠平,
申请(专利权)人:上海显恒光电科技股份有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。