用于测试晶圆的探针卡制造技术

本公开涉及用于测试晶圆的探针卡。一种用于测试晶圆的探针卡，包括：探针尖，用于接触晶圆；以及施加装置，用于将清洁液施加到所述探针尖上。

Probe card used to test wafer

The present disclosure relates to a probe card for testing a wafer. A probe card for testing wafers includes: probe tip, contact wafer, and application device to apply cleaning liquid to the tip of probe.

【技术实现步骤摘要】
用于测试晶圆的探针卡
本公开涉及用于测试晶圆的探针卡。
技术介绍
近年来半导体技术突飞猛进。目前的产品讲求轻薄短小，IC体积越来越小、功能越来越强、脚数越来越多。为了降低芯片封装所占的面积与改善IC效能，普遍采用例如倒装芯片(flipchip)等方式。这些高级封装方式单价高昂。为了能在封装前进行芯片测试，标记晶圆中的次品芯片，从而在封装过程中抛弃这些次品芯片，从而节省封装成本。对于晶圆上芯片的测试，通常采用探针卡进行。探针卡上的探针能够直接与晶圆上待测芯片的测试垫与测试机台形成电信号连接。待测元件测试结束后通过抬起探针卡或者降低晶圆实现探针卡和待测芯片的分离。然后经过探针台定位到下一个待测芯片，并通过降低探针卡或抬高晶圆实现探针卡和待测芯片的电接触。可以重复上述测试过程直至晶圆上所有待测芯片被测试完成。
技术实现思路
根据本公开的第一方面，提供了一种用于测试晶圆的探针卡，包括：探针尖，用于接触晶圆；以及施加装置，用于将清洁液施加到所述探针尖上。采用本申请探针卡，能够更好地对探针卡进行清洁。通过以下参照附图对本公开的示例性实施例的详细描述，本公开的其它特征及其优点将会变得清楚。附图说明构成本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于测试晶圆的探针卡，其特征在于，包括：探针尖，用于接触晶圆；以及施加装置，用于将清洁液施加到所述探针尖上。

【技术特征摘要】
1.一种用于测试晶圆的探针卡，其特征在于，包括：探针尖，用于接触晶圆；以及施加装置，用于将清洁液施加到所述探针尖上。2.根据权利要求1所述的探针卡，其特征在于，所述探针卡还包括探针臂，所述探针尖位于所述探针臂的一端，以及所述施加装置包括中空管，用于向所述探针尖输送所述清洁液。3.根据权利要求2所述的探针卡，其特征在于，所述探针臂被布置在所述中空管内。4.根据权利要求3所述的探针卡，其特征在于，所述中空管为绝缘套管。5.根据权利要求2所述的探针卡，其特征在于，所述探针臂由所述中空管形成。6.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱鹏，张藏文，
申请(专利权)人：德淮半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32