一种用于彩色过滤层制备的工艺涂胶装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种用于彩色过滤层制备的工艺涂胶装置，属于半导体制造技术领域。该装置包括的双轴线性模组装置和滴管装置；双轴线性模组装置由水平驱动线性模组和垂直驱动线性模组构成，垂直驱动线性模组与水平驱动线性模组的第一滑块固定连接，滴管装置与垂直驱动线性模组的第二滑块固定连接；装置结构简单、灵活轻便，可实现自动识别涂胶颜色、自动更换塑料滴管、自动取胶、自动涂胶等一系列工艺流程，有效避免了管道涂胶设备存在的彩色光刻胶凝结、变质、气泡和颗粒污染等问题，省去管道涂胶设备中涂胶管道及喷嘴等部件定期清洁的繁琐工作，提高产品良率，保证了工艺生产的稳定性。

【技术实现步骤摘要】
一种用于彩色过滤层制备的工艺涂胶装置
本技术涉及一种用于彩色过滤层制备的工艺涂胶装置，属于半导体制造

技术介绍
彩色光刻胶是彩色显示屏工艺制备的重要材料，彩色光刻胶储存周期短、对光敏感、易燃有毒，需避光低温保存。目前，用于彩色过滤层制备的涂胶机中多采用管道输送彩色光刻胶至喷头处进行涂胶的方式经行大规模的工艺生产，喷嘴及管道中的彩色光刻胶因长时间残留容易凝结、感光变质造成彩色光刻胶的污染。此外，管道中的微小气泡和颗粒物也将影响彩色过滤层制备过程的涂胶质量，显影后表面呈现出放射状条纹、针孔、气泡等现象，影响了涂胶产品的良品率。
技术实现思路
本技术的目的在于针对现有技术的不足，设计了一种用于彩色过滤层制备的工艺涂胶装置。本技术一种用于彩色过滤层制备的工艺涂胶装置，其特征在于该装置包括双轴线性模组装置和滴管装置；双轴线性模组装置由水平驱动线性模组和垂直驱动线性模组构成，垂直驱动线性模组与水平驱动线性模组的滑块一固定连接，滴管装置与垂直驱动线性模组的滑块二固定连接；所述滴管装置由塑料滴管和滴管腔室构成；塑料滴管位于滴管腔室正下方，塑料滴管管口与滴管腔室管口承插连接。所述的水平驱动线性模组由第一步进电机、第一皮带、第一滑块、第一直线滑轨和第一直线滑轨两侧的第一支撑座构成，第一滑块与第一直线滑轨活动连接，第一直线滑轨两侧与第一支撑座固定连接，第一滑轨底板两侧固定安装有第一步进电机和第一带轮，第一皮带与第一带轮活动连接，第一皮带一端与第一滑块固定连接；所述垂直驱动线性模组由第二步进电机、第二皮带、第二滑块、第二直线滑轨和第二直线滑轨两侧的第二支撑座构成，第二滑块与第二直线滑轨活动连接，第二直线滑轨两侧与第二支撑座固定连接，第二滑轨底板两侧固定安装有第二步进电机和第二带轮，第二皮带与第二带轮活动连接，第二皮带一端与第二滑块固定连接。所述滴管腔室由涂胶控制腔室、滴管更换腔室和滴管腔室外壳构成；涂胶控制腔室位于滴管腔室上半部分，滴管更换腔室位于滴管腔室下半部分，涂胶控制腔室和滴管更换腔室均设置在滴管腔室外壳内；所述涂胶控制腔室由第一活动铁芯、推杆、活塞、第一吸引线圈、第一回位弹簧构成；第一活动铁芯位于涂胶控制腔室内顶侧，第一活动铁芯底面与推杆上端固定连接，推杆下端连接活塞，推杆周围、滴管腔室内壁面固定安装有第一吸引线圈，活塞下方设置有第一回位弹簧；所述滴管更换腔室由第二活动铁芯、第二吸引线圈、第二回位弹簧构成；第二活动铁芯位于涂胶控制腔室内顶侧，第二活动铁芯下方设置有第二回位弹簧，第二回位弹簧下方、滴管腔室内壁面固定安装有第二吸引线圈。最佳的，所述的彩色过滤层制备的工艺涂胶装置还包括控制单元，控制单元通过悬杆与滴管腔室外壳固定连接，由颜色传感器和控制单元构成；颜色传感器信号采集方向面向塑料滴管。本专利技术的工作原理为：该装置具有检测滴管所处状态、水平移动滴管装置、垂直移动滴管装置、装载塑料滴管、卸载塑料滴管、自动取胶和自动涂胶等功能。滴管所处状态检测：涂胶前需对滴管所处状态进行检测，为后续步骤提供依据。颜色传感器发射测试光，经彩色光刻胶液面反射后被颜色传感器接受，通过对反射光波信号处理、分析得出塑料滴管所处状态，包括：（1）滴管装置是否安装有塑料滴管；（2）塑料滴管是否曾被使用过；（3）使用过的塑料滴管残存的彩色光刻胶颜色。水平移动滴管装置：水平移动滴管装置由水平驱动线性模组操作完成，当第一步进电机控制开关正向闭合时，第一步进电机驱动带轮正向旋转，第一皮带带动第一滑块沿第一直线滑轨水平向右移动；当第一步进电机控制开关反向闭合时，第一步进电机驱动带轮反向旋转，第一皮带带动第一滑块沿第一直线滑轨水平向左移动；根据步进尺寸完成滴管装置水平方向的位移。垂直移动滴管装置：垂直移动滴管装置由垂直驱动线性模组操作完成，当第二步进电机控制开关正向闭合时，第二步进电机驱动带轮正向旋转，第二皮带带动第二滑块沿第二直线滑轨垂直向下移动；当第二步进电机控制开关反向闭合时，第二步进电机驱动带轮反向旋转，第二皮带带动第二滑块沿第二直线滑轨垂直向上移动；根据步进尺寸完成滴管装置垂直方向的位移。装载塑料滴管：当检测滴管所处状态为滴管装置没有安装塑料滴管时，需完成塑料滴管装载操作步骤，水平驱动线性模组启动，当滴管装置水平移动到滴管腔室管口与塑料滴管管口轴心重合时，滴管装置水平移动停止，垂直驱动线性模组启动，滴管装置垂直下降，完成塑料滴管管口与滴管腔室管口承插连接步骤后，滴管装置垂直上升，回到初始高度。水平驱动线性模组启动，滴管装置回到初始位置，装载塑料滴管操作完成。卸载塑料滴管：更换塑料滴管时，需先卸载旧的塑料滴管，水平驱动线性模组启动，当滴管装置水平移动到废料回收桶的正上方时，位于滴管更换腔室内的的第二吸引线圈控制开关闭合，第二吸引线圈电路导通吸引第二活动铁芯克服回位第二弹簧的阻力向下移动，第二活动铁芯下端面推动塑料滴管管口端面一起向下移动，塑料滴管管口脱离滴管腔室管口掉落到废料回收桶内，水平驱动线性模组启动，滴管装置水平移动到初始位置，水平驱动线性模组停止，卸载塑料滴管操作完成。自动取胶：水平驱动线性模组启动，滴管装置水平移动到彩色光刻胶储液瓶管口正上方，水平驱动线性模组停止，位于涂胶控制腔室内的第一吸引线圈控制开关闭合，第一吸引线圈电路导通吸引第一活动铁芯克服第一回位弹簧的阻力向下移动，与活动铁芯相连接的推杆推动活塞一起向下移动，根据涂胶的量控制活塞向下移动排开涂胶控制腔室内相等体积的空气，活塞保持静止。垂直驱动线性模组启动，滴管装置垂直向下移动，当滴管管嘴伸入彩色光刻胶液面以下，垂直驱动线性模组停止，滴管装置垂直移动停止，逐渐减少吸引线圈通电电流，第一回位弹簧克服第一吸引线圈对第一活动铁芯的电磁吸引力向上移动，活塞向上移动，彩色光刻胶被吸入塑料滴管内，垂直驱动线性模组启动，滴管装置垂直向上移动，滴管装置回到初始高度，垂直驱动线性模组停止，水平驱动线性模组启动，滴管装置水平移动到初始位置，水平驱动线性模组停止，自动取胶操作完成。自动涂胶：当控制单元接收到涂胶指令时，水平驱动线性模组启动，涂胶装置水平移动到晶园正中间时，垂直驱动线性模组启动，滴管装置垂直向下移动，塑料滴管喷嘴位于晶圆表面垂直高度2cm处，滴管装置垂直移动停止，位于涂胶控制腔室内的第一吸引线圈控制开关闭合，第一吸引线圈电路导通吸引第一活动铁芯克服第一回位弹簧的阻力向下移动，与第一活动铁芯相连接的推杆推动活塞一起向下移动，塑料滴管内的彩色光刻胶被挤压到晶圆表面。第一吸引线圈控制开关断开，活塞在第一回位弹簧弹力的作用下回到初始位置。垂直驱动线性模组启动，滴管装置回到初始高度后停止，水平驱动线性模组启动，滴管装置水平移动到初始位置，水平驱动线性模组停止，自动涂胶操作完成。本专利技术的有益效果是：本专利技术一种用于彩色过滤层制备的工艺涂胶装置，其结构设计简单，灵活轻便，可实现自动更换塑料滴管和自动取胶、涂胶功能，避免了管道涂胶设备涂胶时存在的彩色光刻胶凝结、变质、气泡和颗粒污染等问题，省去涂胶管道及喷嘴等部件定期清洁的繁琐工作，提高产品良率，保证了工艺生产的稳定性。附图说明图1为本专利技术的结构示意图。图2为本专利技术的滴管腔室剖面示意图。图中：1.塑料滴管；2.第二吸引线圈；3.本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于彩色过滤层制备的工艺涂胶装置，其特征在于该装置包括双轴线性模组装置和滴管装置；双轴线性模组装置由水平驱动线性模组和垂直驱动线性模组构成，垂直驱动线性模组与水平驱动线性模组的第一滑块（19）固定连接，滴管装置与垂直驱动线性模组的第二滑块（8）固定连接；所述滴管装置由塑料滴管（1）和滴管腔室构成；塑料滴管（1）位于滴管腔室正下方，塑料滴管（1）管口与滴管腔室管口承插连接。

【技术特征摘要】
1.一种用于彩色过滤层制备的工艺涂胶装置，其特征在于该装置包括双轴线性模组装置和滴管装置；双轴线性模组装置由水平驱动线性模组和垂直驱动线性模组构成，垂直驱动线性模组与水平驱动线性模组的第一滑块（19）固定连接，滴管装置与垂直驱动线性模组的第二滑块（8）固定连接；所述滴管装置由塑料滴管（1）和滴管腔室构成；塑料滴管（1）位于滴管腔室正下方，塑料滴管（1）管口与滴管腔室管口承插连接。2.如权利要求1所述的一种用于彩色过滤层制备的工艺涂胶装置，其特征在于水平驱动线性模组由步进第一电机（12）、第一皮带（16）、第一滑块（19）、第一直线滑轨（14）和第一直线滑轨（14）两侧第一支撑座（13）构成，第一滑块（19）与第一直线滑轨（14）活动连接，第一直线滑轨（14）两侧与第一支撑座（13）固定连接，第一滑轨底板（15）两侧固定安装有第一步进电机（12）和第一带轮（11），第一皮带（16）与第一带轮（11）活动连接，第一皮带（16）一端与第一滑块（19）固定连接；垂直驱动线性模组由第二步进电机（17）、第二皮带（20）、第二滑块（8）、第二直线滑轨（9）和第二直线滑轨（9）两侧的第二支撑座（23）构成，第二滑块（8）与第二直线滑轨（9）活动连接，第二直线滑轨（9）两侧与第二支撑座（23）固定连接，第二滑轨底板（10）两侧固定安装有第二步进电机（17）和第二带轮（18），第二皮带（20）与...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘佰红，杨炜平，杨丽丽，杨晓雪，殷艳娥，段良飞，石春明，马跃霞，
申请(专利权)人：云南北方奥雷德光电科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：云南,53