一种石墨舟夹持机构及三轴搬运机械手制造技术

本发明专利技术公开了一种石墨舟夹持机构，包括安装基板及两组夹持组件，两组夹持组件分设于所述安装基板两端，所述安装基板两端对应安装有沿安装基板长度方向移动所述夹持组件的转运驱动件，所述夹持组件包括连接件、一对夹爪以及一对夹紧驱动件，一对所述夹紧驱动件与一对所述夹爪一一对应连接，一对所述夹紧驱动件安装于所述连接件上，所述转运驱动件与所述连接件相连。本发明专利技术具有结构紧凑可靠，操作方便，效率高，自动化程度高，不影响石墨舟使用寿命等优点。

A type of graphite boat holding mechanism and three axle handling manipulator

The invention discloses a graphite boat clamping mechanism, including the installation of substrate and two sets of clamping components, two sets of clamping components are respectively arranged on the mounting substrate at both ends of the mounting substrate corresponding to both ends arranged along the length direction of the mounting substrate moving the clamping assembly transport drive member, the clamping assembly which includes a connecting piece, a pair of jaws and a pair of clamping pieces of the drive, a drive member and a clamping of the clamping claw corresponding to the clamp connection, a driving part is installed on the connecting piece, the transport driver is connected with the piece. The invention has the advantages of compact and reliable structure, convenient operation, high efficiency, high degree of automation and no influence on the service life of the graphite boat.

【技术实现步骤摘要】
一种石墨舟夹持机构及三轴搬运机械手
本专利技术涉及水平液相外延生长炉，尤其涉及一种石墨舟夹持机构及三轴搬运机械手。
技术介绍
目前，水平液相外延生长炉的石墨舟上下推舟系统是全手动操作，即人为穿过手套箱上的两手套将石墨舟从负载锁腔内搬出，放置到手套箱内，再从手套箱内手动搬运到推舟石英耙上。满载的石墨舟质量重，长度尺寸大，手套箱内空间有限，导致人工搬运不够便利，劳动强度大且效率低。同时，人工在负载锁腔内拉舟时，石墨舟与托板间存在蹭磨，影响石墨舟使用寿命，还会导致石墨舟运动过程不平稳。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种结构紧凑可靠，操作方便，效率高，自动化程度高，不影响使用寿命的石墨舟夹持机构。本专利技术进一步提供一种含有上述石墨舟夹持结构的三轴搬运机械手。为解决上述技术问题，本专利技术采用以下技术方案：一种石墨舟夹持机构，包括安装基板及两组夹持组件，两组夹持组件分设于所述安装基板两端，所述安装基板两端对应安装有沿安装基板长度方向移动所述夹持组件的转运驱动件，所述夹持组件包括连接件、一对夹爪以及一对夹紧驱动件，一对所述夹紧驱动件与一对所述夹爪一一对应连接，一对所述夹紧驱动件安装于所述连接件上，所述转运驱动件与所述连接件相连。作为上述技术方案的进一步改进：所述夹紧驱动件为夹紧气缸，所述夹紧驱动件的缸体安装于所述连接件上，活塞杆与所述夹爪固定连接。作为上述技术方案的进一步改进：所述转运驱动件为转运气缸，所述转运驱动件的缸体安装于所述安装基板上，活塞杆与所述连接件相连。作为上述技术方案的进一步改进：各对所述夹紧驱动件相对布置，两件转运驱动件沿同一方向布置。作为上述技术方案的进一步改进：所述夹爪为C字型夹爪，夹爪上部与所述夹紧驱动件相连，下部为阶梯形。一种三轴搬运机械手，包括上述的石墨舟夹持机构、以及设于手套箱内的内撑框架，所述内撑框架上设有两列X轴传动机构，两列所述X轴传动机构之间设有Y轴传动机构，所述Y轴传动机构上设有Z轴传动机构，所述Z轴传动机构与石墨舟夹持机构的安装基板连接，所述安装基板与所述X轴传动机构平行布置。作为上述技术方案的进一步改进：所述X轴传动机构为X轴电缸，两列所述X轴传动机构之间设有第一电机减速机组件，所述第一电机减速机组件两侧分别设有一组联轴器组件，所述联轴器组件与同侧的X轴电缸连接，所述Y轴传动机构为Y轴电缸，Y轴电缸端部与X轴电缸的滑块相连，所述Z轴传动机构为Z轴电缸，Z轴电缸与Y轴电缸的滑块相连，所述安装基板与所述Z轴电缸的滑块相连。与现有技术相比，本专利技术的优点在于：本专利技术公开的石墨舟夹持机构，包括两组夹持组件，两组夹持组件分别从石墨舟的前后两端对其进行夹持，夹持组件包括一对夹爪及一对夹紧驱动件，一对夹爪可在一对夹紧驱动件的作用下从石墨舟左右两侧相互靠近将其夹紧、固定住，两组夹持组件分别配置转运驱动件，转运驱动件可通过连接件带动夹紧驱动件、夹爪及石墨舟整体沿安装基板长度方向移动，从而可将石墨舟自负载锁腔内转移至手套箱内，整体结构紧凑，便于在负载锁腔内狭窄的空间操作，自动化程度高，效率高，搬运过程石墨舟不会与托盘发生摩擦，避免影响石墨舟使用寿命。本专利技术公开的三轴搬运机械手，包括上述石墨舟夹持机构，因而同样具有上述优点。同时，X轴传动机构可带动Y轴传动机构、Z轴传动机构及石墨舟夹持机构整体在手套箱内沿X轴方向移动，Y轴传动机构可带动Z轴传动机构、石墨舟夹持机构在Y轴方向移动，Z轴传动机构可带动石墨舟夹持机构在Z轴方向移动，进而现实石墨舟夹持机构在手套箱内的三维空间运动，石墨舟夹持机构可准确、快速地将石墨舟搬运至石英耙上。附图说明图1是本专利技术石墨舟夹持机构的主视结构示意图。图2是本专利技术石墨舟夹持机构的侧视结构示意图。图3是本专利技术三轴搬运机械手的立体结构示意图。图4是本专利技术三轴搬运机械手去除内撑框架后的立体结构示意图。图5是本专利技术三轴搬运机械手的使用状态时的结构示意图。图中各标号表示：1、安装基板；2、夹持组件；21、连接件；22、夹爪；23、夹紧驱动件；3、转运驱动件；4、手套箱；5、内撑框架；6、X轴传动机构；61、第一电机减速机组件；62、联轴器组件；7、Y轴传动机构；8、Z轴传动机构；9、滑块；10、石墨舟；101、舟体；102、滑板；20、负载锁腔；30、石英耙。具体实施方式以下结合说明书附图和具体实施例对本专利技术作进一步详细说明。图1至图2示出了本专利技术石墨舟夹持机构的一种实施例，本实施例的石墨舟夹持机构，包括安装基板1及两组夹持组件2，两组夹持组件2分设于安装基板1两端，安装基板1两端对应安装有沿安装基板1长度方向移动夹持组件2的转运驱动件3，夹持组件2包括连接件21、一对夹爪22以及一对夹紧驱动件23，一对夹紧驱动件23与一对夹爪22一一对应连接，一对夹紧驱动件23安装于连接件21上，转运驱动件3与连接件21相连。该石墨舟夹持机构，包括两组夹持组件2，两组夹持组件2分别从石墨舟10的前后两端对其进行夹持，夹持组件2包括一对夹爪22及一对夹紧驱动件23，一对夹爪22可在一对夹紧驱动件23的作用下从石墨舟10左右两侧相互靠近将其夹紧、固定住，两组夹持组件2分别配置转运驱动件3，转运驱动件3可通过连接件21带动夹紧驱动件23、夹爪22及石墨舟10整体沿安装基板1长度方向移动(或前后移动)，从而可将石墨舟10自负载锁腔20内转移至手套箱4内，整体结构紧凑，便于在负载锁腔20内狭窄的空间操作，自动化程度高，效率高，搬运过程石墨舟10不会与托盘发生摩擦，避免影响石墨舟10使用寿命。该石墨舟夹持机构的具体工作过程为：两组转运驱动件3带动两组夹持组件2伸入负载锁腔20内，各对夹爪22之间保持较宽的距离以避开石墨舟10，当后侧的夹持组件2运动至石墨舟10后侧的滑板102处、前侧的夹持组件2运动至石墨舟10前侧的滑板102处时，各对夹紧驱动件23驱动各对夹爪22相互靠近，使夹爪22伸入滑板102与托盘之间的间隙，从而将石墨舟10可靠地夹紧固定，然后两组转运驱动件3带动两组夹持组件2自负载锁腔20内退出，完成石墨舟10从负载锁腔20搬运至手套箱4的过程。作为进一步优选的技术方案，本实施例中，夹紧驱动件23为夹紧气缸，夹紧驱动件23的缸体安装于连接件21上，活塞杆与夹爪22固定连接。也即，夹紧气缸的活塞杆伸缩运动，进而带动夹爪22相互靠近或远离，结构简单、可靠；具体地，连接件21可为板件。更进一步地，本实施例中，转运驱动件3为转运气缸，转运驱动件3的缸体安装于安装基板1上，活塞杆与连接件21相连。也即，转运气缸的活塞杆伸缩运动，进而带动连接件21、夹紧气缸及夹爪22整体前后运动，结构简单、可靠。更进一步地，本实施例中，各对夹紧驱动件23相对布置，两件转运驱动件3沿同一方向布置。当各对夹紧驱动件23同时进气或同时排气时，各对夹爪22则相互靠近或相互原理；两件转运驱动件3同时进气或同时排气时，带动两组夹持组件2同时向前或同时向后运动，可简化各驱动件的气压控制部分的结构。更进一步地，本实施例中，夹爪22为C字型夹爪，夹爪22上部与夹紧驱动件23相连，下部为阶梯形。C字型夹爪可与石墨舟10的结构更好地匹配；夹爪22下部分采用阶梯形，便于夹持定位。图3至图5示出了本专利技术三轴搬运机械本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种石墨舟夹持机构，其特征在于：包括安装基板(1)及两组夹持组件(2)，两组夹持组件(2)分设于所述安装基板(1)两端，所述安装基板(1)两端对应安装有沿安装基板(1)长度方向移动所述夹持组件(2)的转运驱动件(3)，所述夹持组件(2)包括连接件(21)、一对夹爪(22)以及一对夹紧驱动件(23)，一对所述夹紧驱动件(23)与一对所述夹爪(22)一一对应连接，一对所述夹紧驱动件(23)安装于所述连接件(21)上，所述转运驱动件(3)与所述连接件(21)相连。

【技术特征摘要】
1.一种石墨舟夹持机构，其特征在于：包括安装基板(1)及两组夹持组件(2)，两组夹持组件(2)分设于所述安装基板(1)两端，所述安装基板(1)两端对应安装有沿安装基板(1)长度方向移动所述夹持组件(2)的转运驱动件(3)，所述夹持组件(2)包括连接件(21)、一对夹爪(22)以及一对夹紧驱动件(23)，一对所述夹紧驱动件(23)与一对所述夹爪(22)一一对应连接，一对所述夹紧驱动件(23)安装于所述连接件(21)上，所述转运驱动件(3)与所述连接件(21)相连。2.根据权利要求1所述的石墨舟夹持机构，其特征在于：所述夹紧驱动件(23)为夹紧气缸，所述夹紧驱动件(23)的缸体安装于所述连接件(21)上，活塞杆与所述夹爪(22)固定连接。3.根据权利要求2所述的石墨舟夹持机构，其特征在于：所述转运驱动件(3)为转运气缸，所述转运驱动件(3)的缸体安装于所述安装基板(1)上，活塞杆与所述连接件(21)相连。4.根据权利要求3所述的石墨舟夹持机构，其特征在于：各对所述夹紧驱动件(23)相对布置，两件转运驱动件(3)沿同一方向布置。5.根据权利要求1至4中任一...

【专利技术属性】
技术研发人员：袁卫华，魏唯，程文进，罗才旺，林伯奇，李克，罗瑧，何华云，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第四十八研究所，
类型：发明
国别省市：湖南,43