The invention belongs to the field of MEMS technology, discloses a photoetching machine wafer chuck, which comprises a base and disposed on the base of the sucker and spacing grooves; the spacing grooves are arranged around the sucker for lithography wafer confined to the suction disc is over. The invention provides a photoetching machine wafer chuck, the wafer chuck is suitable for circular wafers and lithography lithography, rectangular chip, can make the center of gravity and the wafer chuck base rectangular wafer center and weight, effectively prevent the process of wafer movement caused by moving rectangular wafer chuck, reduces the error of lithography mask pattern transfer, improve to copy of the wafer, and the wafer chuck circular wafers can be placed in a certain size range, and the wafer chuck has the advantages of simple structure, convenient operation, convenient processing and manufacturing.
【技术实现步骤摘要】
一种光刻机晶片吸盘
本专利技术涉及微机电加工工艺
,特别涉及一种光刻机晶片吸盘。
技术介绍
光刻是指通过一系列操作步骤,将掩膜上的微结构图案转移至涂覆有光刻胶晶片上面的一种微机电加工工艺。光刻工艺,可以用于集成电路、微流控芯片或者其他微型器件的制造。光刻工艺是在光刻机设备上完成的。在光刻设备中,有两个关键模块,即承版台和承片台。承版台是指用于放置光刻掩膜版的载体,它位于掩膜台分系统;承片台是指用于放置晶片的载体,它位于工作台分系统。在承版台模块中,用于放置并固定光刻掩膜版的装置称为掩膜吸盘;在承片台模块中,用于放置并固定晶片的装置称为晶片吸盘,而晶片吸盘又是放置在承片台模块的承片台支架中。通常,吸盘是以真空产生负压吸紧掩膜和/或晶片的方式将掩膜和/或晶片固定。当需要光刻时,首先将掩膜放在掩膜吸盘上,通过打开光刻机上的“掩膜”按钮使掩膜在真空负压的作用下被吸附固定在承版台;然后将晶片放在处于承片台支架中的晶片吸盘上。通过操纵光刻机上的“上升”、“下调”、“上调”等按钮和“X轴调节手轮”、“Y轴调节手轮”、“旋转调节手轮”等位置调节轴,可以使晶片自动调平、晶片与掩膜对准。然后,通过打开光刻机上的“曝光”按钮开始曝光;当曝光结束后,掩膜上的图案便转移到晶片上,光刻工艺完成。然而,目前的光刻机大都是用于加工圆形晶片,这使得用户在需要加工矩形(如正方形、长方形)晶片时会遇到困难。由于光刻机上的晶片吸盘是圆形的,所以当用户放置矩形晶片时,可能会使矩形晶片的几何中心偏离圆形晶片吸盘的几何中心而不对称放置,导致矩形晶片在上升调节的过程中会作相对于晶片吸盘的运动;可能 ...
【技术保护点】
一种光刻机晶片吸盘,其特征在于,包括:基座以及设置在所述基座上的吸盘以及限位卡槽;所述限位卡槽设置在所述吸盘周围,用于将光刻机晶片限制在所述吸盘正上方。
【技术特征摘要】
1.一种光刻机晶片吸盘,其特征在于,包括:基座以及设置在所述基座上的吸盘以及限位卡槽;所述限位卡槽设置在所述吸盘周围,用于将光刻机晶片限制在所述吸盘正上方。2.如权利要求1所述的光刻机晶片吸盘,其特征在于,所述限位卡槽包括:定位柱以及限位挡板;所述定位柱固定在所述基座上;所述限位挡板可拆卸的固定在所述定位柱上;其中,所述限位挡板与所述定位柱开设可供晶片嵌入的水平卡槽;所述水平卡槽与所述吸盘平行。3.如权利要求2所述的光刻机晶片吸盘,其特征在于:所述水平卡槽的槽底高度小于等于所述吸盘的盘面高度。4.如权利要求3所述的光刻机晶片吸盘,其特征在于:所述限位卡槽的数量为四个,对应矩形晶片的四角。5.如权利要求3所述的光刻机晶片吸盘,其特征在于:所述限位卡槽的...
【专利技术属性】
技术研发人员:李知存,陈跃东,范勤,王雄,聂明争,霍同乾,程俊,
申请(专利权)人:武汉科技大学,
类型:发明
国别省市:湖北,42
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